耗子老师好消息： 国产光刻机确认做不了双重曝光 生产不了28nm芯片！

[Shannon]

还确实是这么回事
牛人
而且鳖跟耗老师一个思路 低NA
功率不够减镜片 所以弄出个不伦不类的机器交差
没有实用性

弃大师是中国科技第一人

这里还有傻子不服

耗子在这里垫底 它何德何能和弃大师相提并论？

[弃婴千枝]

多大点事，两个40瓦在一起照就是80瓦

属实

当年耗子这个河北鞑子还有楼上这个天津满鞑子alienpig的马甲，就是这样挖苦我的

你妈

[krzkrz]

中国的问题是全方位落后

机械落后 对准精度低

光学落后 镜头na值小

光源的问题 不重要， 的确如耗子所说。 曝光时间长点不就够了吗


euv追求大功率 是出于经济性的要求， 不可能一小时曝光一片。

你少听弃婴扯淡， 弃婴所有的问题都是一个套路。就是往物理上扯， 扯到最后就是电子轨道 原子光谱。
因为他只懂这个。

他就是别的物理领域 也是可笑的要死， 什么热力学水平就是中学生的水平

你来比较一下 对中国光刻机产业发展而言 需要弃婴大神还是耗子哥？

[krzkrz]

弃大师是中国科技第一人

这里还有傻子不服

耗子在这里垫底 它何德何能和弃大师相提并论？

目前来看 弃婴大神是唯一一个预测出中国ArF光源卡脖子的ID
之前我都不知道有这个东西

[hhcare]

卡脖子一个足够
而且必然是工作台
道理太简单

弃婴方方面面智商不在线
工作台稳定延长曝光时间

弃婴总喜欢拉到量子力学

[英亲王阿齐格]

你来比较一下 对中国光刻机产业发展而言 需要弃婴大神还是耗子哥？

当然是耗子阿

耗子说得对阿，什么低NA镜头 怎么可能是因为光源的问题。 要么是因为镜片做不大，要么是因为镀膜技术不行。

你从常理想想，知道摄影吧。 摄影镜头里，大光圈镜头 暗光表现好。 这里面得光圈就相当于NA，虽然照相机镜头得光圈值可变，因为里面有个机械簧片组限制开孔直径。但是在光圈全开时候，这个就相当于本身得NA了。 所以NA越高的镜头，他越适合弱光，因为他收集的光得范围大。 至于多出来的镜片之间的界面反射，可以通过增透膜解决。

一般高级的镜头，里面每个镜片都是镀膜得，能让空气玻璃界面的损失降低到很小。

光刻机那种精度得镜头，我跟你说用的都不是一般得光学玻璃。 肯定是石英玻璃，而且是必须特别纯。 里面一丁点残余应力都不能有，因为你如果冷却时候，冷却速度各处不一样得。 在整块玻璃里面，各个残余应力是不一样的，这个残余应力能影响局部得折射系数得。结果就是每个地方折射系数都不一样，你一般应用无所谓，但光刻机这种应用就有所谓了。 所以说，这个光学玻璃造大了是有难度的。

[弃婴千枝]

光刻机那种精度得镜头，我跟你说用的都不是一般得光学玻璃。 肯定是石英玻璃，而且是必须特别纯。 里面一丁点残余应力都不能有，因为你如果冷却时候，冷却速度各处不一样得。 在整块玻璃里面，各个残余应力是不一样的，这个残余应力能影响局部得折射系数得。结果就是每个地方折射系数都不一样，你一般应用无所谓，但光刻机这种应用就有所谓了。 所以说，这个光学玻璃造大了是有难度的。

傻毴不知道紫外线不能穿透石英玻璃？

比如汽车氙灯管都是石英玻璃做的，就是为了防止紫外线



看看石英玻璃光谱

[hhcare]

傻毴不知道紫外线不能穿透石英玻璃？

比如汽车氙灯管都是石英玻璃做的，就是为了防止紫外线



看看石英玻璃光谱

弃婴丢人啊

[krzkrz]

傻毴不知道紫外线不能穿透石英玻璃？

比如汽车氙灯管都是石英玻璃做的，就是为了防止紫外线



看看石英玻璃光谱

那ArF镜子用的是啥材料？

[弃婴千枝]

那ArF镜子用的是啥材料？

普通光学玻璃，不能用石英，否则损失远远大于镀膜减损

[llling369]

靠，普通玻璃才不透紫外线。

[弃婴千枝]

弃婴丢人啊

紫外线不能穿透石英玻璃这是常识吧

介绍高压汞灯，高压钠灯的时候，总会介绍灯壳是石英玻璃做的，是为了防止紫外线，同时，不能彻底挡住200nm左右紫外线，于是这类灯不能用于室内照明，只能用户户外

不信你看有人用高压汞灯钠灯做体育场照明么？

你妈毴的我小学就知道的玩意竟然有搞光学的佬傻毴到了53还不知道

[弃婴千枝]

靠，普通玻璃才不透紫外线。

你妈喊你回家吃饭，别出来丢人现眼了

[Jason6278]

耗子的光刻是左右拿手电右手拿菜刀

[hhcare]

弃婴， 看来你真是啥也不知道， 坐井观天。知道157为啥不行了吗？

synthetic fused silica
https://www.thorlabs.com/images/TabImag ... 0Sheet.pdf



这儿还有一个材料

https://refractiveindex.info/?shelf=gla ... HOTEC-CAF2

你竟然这么多年还有脸唧唧歪歪， 真是未名所有id的耻辱。

如果真是女的， 找个人生孩子去吧， 别出来丢人了。我发现只要具体到做什么， 算什么， 只要深究一点点你就死得很难看。

[Jason6278]

紫外线不能穿透石英玻璃这是常识吧

介绍高压汞灯，高压钠灯的时候，总会介绍灯壳是石英玻璃做的，是为了防止紫外线，同时，不能彻底挡住200nm左右紫外线，于是这类灯不能用于室内照明，只能用户户外

不信你看有人用高压汞灯钠灯做体育场照明么？

你妈毴的我小学就知道的玩意竟然有搞光学的佬傻毴到了53还不知道

无知的人太多

[Linjiaojiao]

卡脖子一个足够
而且必然是工作台
道理太简单

弃婴方方面面智商不在线
工作台稳定延长曝光时间

弃婴总喜欢拉到量子力学

操 耗老师真是该下放到车间 曝光时间延长 plant manager直接打你巴掌 而且越长对工作台要求越高
本来工作台就不如别人 你还要提比别人更长稳定性 做工作台肯定反问过来 你妈的 你光源不过关 凭哈让我来背锅

[hhcare]

紫外线不能穿透石英玻璃这是常识吧

介绍高压汞灯，高压钠灯的时候，总会介绍灯壳是石英玻璃做的，是为了防止紫外线，同时，不能彻底挡住200nm左右紫外线，于是这类灯不能用于室内照明，只能用户户外

不信你看有人用高压汞灯钠灯做体育场照明么？

你妈毴的我小学就知道的玩意竟然有搞光学的佬傻毴到了53还不知道

石英不是为了防止紫外线， 而是不变黑。
普通玻璃远比石英更容易吸收紫外线。
基本上波长越短越容易吸收。
玻璃本来就是二氧化硅里面添加东西， 调节吸收和n
您老的知识是不是都来源于十万个为什么， 估计很多都是错的。

[hhcare]

操 耗老师真是该下放到车间 曝光时间延长 plant manager直接打你巴掌 而且越长对工作台要求越高
本来工作台就不如别人 你还要提比别人更长稳定性 做工作台肯定反问过来 你妈的 你光源不过关 凭哈让我来背锅

我不是贴了吗？！

你他妈一个需要随时动的工作台， 清华几年只给上海一台。
就这一台还没有通过验收

你有脸说光源吗？！

[hhcare]

弃婴是不是又到别的地方开辟战场去了？