国产EUV光刻机突破,即将试产!良率可达70%
尊嘟假嘟?我看腾讯、新浪、搜狐都同时报道了。知道它要来,没想到来的这么快。有没有人知道细节的。我说前段时间为什么美国要把EDA软件给禁了呢,原来是知道挡不住了。如果是真的那就TM爽了。

版主: Softfist
这啥照片?ASML吗?如果是ASML还不能实锤;不是ASML就能实锤。一紙荒唐 写了: 2025年 6月 21日 15:43 https://huaren.us/showtopic.html?topicid=3116761
国产EUV光刻机突破,即将试产!良率可达70%
尊嘟假嘟?我看腾讯、新浪、搜狐都同时报道了。知道它要来,没想到来的这么快。有没有人知道细节的。我说前段时间为什么美国要把EDA软件给禁了呢,原来是知道挡不住了。如果是真的那就TM爽了。
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这篇转载不全,原文能耗远低于台积电的阿斯麦
哈狗眼能看见13.5 nm的光束 还是紫色的李洪志 写了: 2025年 6月 21日 19:08 这篇转载不全,原文能耗远低于台积电的阿斯麦
测试数据显示,该设备每小时可处理250片晶圆,超越ASML同级别设备的195片产能。 其核心光源采用哈工大研发的激光诱导放电等离子体(LDP)技术,能量转换效率达到ASML方案的2.25倍,设备体积却缩小了30%。
一位参与测试的工程师描述:“当13.5纳米波长的紫色光束首次穿透晶圆时,整个车间爆发出掌声,这意味着我们真正握住了芯片制造的‘光剑’。 ”
与ASML的二氧化碳激光轰击技术不同,中国团队选择了“换道超车”策略。 哈工大开发的放电等离子体极紫外光源(DPP)采用固体脉冲激光器,直接将电能转化为等离子体辐射,省去了复杂的激光放大环节。
一紙荒唐 写了: 2025年 6月 21日 15:43 https://huaren.us/showtopic.html?topicid=3116761
国产EUV光刻机突破,即将试产!良率可达70%
尊嘟假嘟?我看腾讯、新浪、搜狐都同时报道了。知道它要来,没想到来的这么快。有没有人知道细节的。我说前段时间为什么美国要把EDA软件给禁了呢,原来是知道挡不住了。如果是真的那就TM爽了。
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