EUV光刻机为什么要把光线反射十四次？

[konichiwa]

吃饱了撑着？

[hhcare]

牛逼
咋知道的。

哪个傻逼告诉你的

[verdelite]

吃饱了撑着？

为了消除彗差和球差。

[verdelite]

牛逼
咋知道的。

哪个傻逼告诉你的

ASML 说的。网上有图

[hhcare]

为了消除彗差和球差。

不可能14次吧。

八九次差不多

[hhcare]

ASML 说的。网上有图

贴上来

不过别买
肯定没法用

[tiantian2000]

ASML 说的。网上有图

耗子对光柯基的了解比群众还有限

[verdelite]

不可能14次吧。

八九次差不多

前面还有收集光线的。这种我估计精度要求不高。精度要求高的是成像的那些。

[konichiwa]

一个镜子不行，非要十四个镜子

为了消除彗差和球差。

[verdelite]

一个镜子不行，非要十四个镜子

一个精镜子显然有球差呀。离轴的还有彗差。

[hhcare]

反射肯定不会

肯定加了四次或六次透射

[Amorphous]

不可能14次吧。

八九次差不多

完了，耗子被套出话来了，明早fbi来敲门

[hhcare]

完了，耗子被套出话来了，明早fbi来敲门

光刻机的各种信息外面都有， 原来cymer和日本的gigaphoton啥的做了很多， 还有专门的euvlithography网站， 各种东西。
难点大概在各种东西，很多都是euv用的， 别的不用， 或给visible, duv, 等等完全不一样，
其实就是物理器件， 国内很多所都是可以造的。 造不好也不会太差。
早点一起弄， 肯定搭出来了。 摸索几年， 轻轻松松追上美国。

国内公司
它妈的神叨叨的喊duv要几年， 浸润几年， 然后再走euv，
本来三年的时间，拖到13年做不完，
天天打着爱国的旗号吸全国人民的血， 坏透了

[弃婴千枝]

、

吃饱了撑着？

你妈，这里竟然没人能解答，太震惊了

这光学机构叫做Wolter-Schwarzschild telescope，主要用于x ray或者γ ray望远镜

为什么要反射14次？

因为x射线或者γ射线透射能力强，只能在入射角很大的情况下精明才能有效反射，不然就穿透经贸了。所以只有镜面曲率很小的情况下才有效反射，这相当于望远镜镜片曲率很小（相当于平面透镜）所以要多次反射才能完成所需的缩小（光刻）或放大（望远镜）比例

[红烧川粉]

如果是真的只能一个原因就是焦距无比之长机器内部放不下只能多用反射镜。

[verdelite]

反射肯定不会

肯定加了四次或六次透射

草。。。耗子伪装的专家，150nm基本上就找不到透射的材料了，更何况13.5nm

[hhcare]

、

你妈，这里竟然没人能解答，太震惊了

这光学机构叫做Wolter-Schwarzschild telescope，主要用于x ray或者γ ray望远镜

为什么要反射14次？

因为x射线或者γ射线透射能力强，只能在入射角很大的情况下精明才能有效反射，不然就穿透经贸了。所以只有镜面曲率很小的情况下才有效反射，这相当于望远镜镜片曲率很小（相当于平面透镜）所以要多次反射才能完成所需的缩小（光刻）或放大（望远镜）比例

你那是90年代的扯淡技术，。。 别丢人了

[弃婴千枝]

光刻机的各种信息外面都有， 原来cymer和日本的gigaphoton啥的做了很多， 还有专门的euvlithography网站， 各种东西。
难点大概在各种东西，很多都是euv用的， 别的不用， 或给visible, duv, 等等完全不一样，
其实就是物理器件， 国内很多所都是可以造的。 造不好也不会太差。
早点一起弄， 肯定搭出来了。 摸索几年， 轻轻松松追上美国。

国内公司
它妈的神叨叨的喊duv要几年， 浸润几年， 然后再走euv，
本来三年的时间，拖到13年做不完，
天天打着爱国的旗号吸全国人民的血， 坏透了

耗子就知道唧唧歪歪纠缠历史

人家问你为什么要14次，竟然顾左右而言他

[hhcare]

耗子就知道唧唧歪歪纠缠历史

人家问你为什么要14次，竟然顾左右而言他

因为不是反射14次， 如果你说EXE可能接近， 但是EXE我是从来看着都失败的产品
。。。。。我不是第一次说EXE会失败的，

intel会死在这上面。

[弃婴千枝]

核心原因是x射线只能掠射的时候才能与镜面有效作用

所以镜子的曲率都很小，所以为了成像需要多次反射