用抖动的方法实现激光的退相干

[konichiwa]

https://patents.google.com/patent/CN101592784A/zh

给非光刻机专业的外行科普一下专业背景。
三年前，弃婴大师提出，可以用加速器产生的射线来做光刻机。
这种加速器发出的射线是比激光波长还要短的光。可以制作1纳米芯片，从而实现弯道超车
考虑到中国加速器物理的发展走在了世界最前列，人才济济，技术储备雄厚。

但谢博士指出了，高纯度加速器射线是相干光。不能用来做光刻机

原因在于，杨氏双缝实验。
激光通过一个小缝，会产生水波状的条纹，整个芯片就废了
所以需要对加速器产生的射线进行退相干


现在这个最后的技术难题被中国科学家攻克了
可以通过抖动激光光源来实现退相干
根据这个专利，在加速器光源上，安装抖动器，让光线抖动，这样就能实现芯片的均匀曝光!

给大家举个例子。你如果在田里撒豆子，撒的不均匀，怎么办，就随机多撒几次，就均匀了。

[TheMatrix]

可以啊。这都被你挖出来了。

[hhcare]

https://patents.google.com/patent/CN101592784A/zh

给非光刻机专业的外行科普一下专业背景。
三年前，弃婴大师提出，可以用加速器产生的射线来做光刻机。
这种加速器发出的射线是比激光波长还要短的光。可以制作1纳米芯片，从而实现弯道超车
考虑到中国加速器物理的发展走在了世界最前列，人才济济，技术储备雄厚。

但谢博士指出了，高纯度加速器射线是相干光。不能用来做光刻机

原因在于，杨氏双缝实验。
激光通过一个小缝，会产生水波状的条纹，整个芯片就废了
所以需要对加速器产生的射线进行退相干


现在这个最后的技术难题被中国科学家攻克了
可以通过抖动激光光源来实现退相干
根据这个专利，在加速器光源上，安装抖动器，让光线抖动，这样就能实现芯片的均匀曝光!

给大家举个例子。你如果在田里撒豆子，撒的不均匀，怎么办，就随机多撒几次，就均匀了。

这还用攻克？！
这是well known 的消除speckle的方法。

[konichiwa]

有没有非机械抖动的方法退相干？

这还用攻克？！
这是well known 的消除speckle的方法。

[hhcare]

euv 很难吧， 要通过介质， 有损耗。

[konichiwa]

EUV为什么不容易退相干？
这是不是目前光刻机最大挑战？

euv 很难吧， 要通过介质， 有损耗。

[hhcare]

EUV为什么不容易退相干？
这是不是目前光刻机最大挑战？

不是euv 难
所有激光都难吧

[srx]

你说的加速器产生的同步辐射？那不是X射线吗

[Bluesky]

可以试试压电陶瓷。非机械抖动的办法很多的。

有没有非机械抖动的方法退相干？

[hhcare]

可以试试压电陶瓷。非机械抖动的办法很多的。

频率， 相位， 电场矢量方向，外加平均
改变任何一个都可以

[fulvshou]

你说的加速器产生的同步辐射？那不是X射线吗

熟食 张江有叫个上海光源的东东
实际上就加速器产生的高强度x射线

[verdelite]

可以试试压电陶瓷。非机械抖动的办法很多的。

压电陶瓷是机械抖动。

[verdelite]

EUV为什么不容易退相干？
这是不是目前光刻机最大挑战？

EUV不能用透射技术，只能用反射技术。

[konichiwa]

把反射镜做粗糙一点不就解决了吗？

EUV不能用透射技术，只能用反射技术。

[clearjks]

感觉楼主基本不懂物理，术语都是错的。

[verdelite]

把反射镜做粗糙一点不就解决了吗？

粗糙一点儿是不行的，仍然是相干光，成像有不均匀性。得一会儿像这样粗糙，一会儿像那样粗糙。虽然每一时刻都是相干光，但是平均下来，成像亮度就比较均匀。