新未名空间

WCLBJ 写了： 2023年 9月 7日 16:25 等Mate 60 Pro +的麒麟9100发布了。如果9100达到了台积电5纳米水平，那就实打实的突破了。

hhcare 写了： 2023年 9月 7日 15:14 我早说了关键技术不能在北京上海深圳。不出活

oldmo 写了： 2023年 9月 7日 15:13 这种新产品，没有经过长时间考验，肯定有各种问题

华为内部用，不挑剔就行

lsheng 写了： 2023年 9月 7日 19:32 工程问题要长时间，高强度使用才能暴露，不做的人永远也不会知道。这是为什么事情只有做，才有可能会。

omicron 写了： 2023年 9月 7日 18:42

yugong 写了： 2023年 9月 7日 19:41 属实，很多生产线要经过十年八年调试才能成熟。这也是为啥文科生如果只哔哔，永远无法生产任何实用的东西出来。

cover 写了： 2023年 9月 7日 19:04

keyrock 写了： 2023年 9月 7日 16:04 全在光机所，这些都有了，弄出一个EUV光刻机没啥稀奇了

看来尘埃落定，华为芯片哪里来的，清楚了

想想2000万手机订单，也不可能是DUV多重曝光，效率太低了

UnixLinux 写了： 2023年 9月 7日 20:09 真的的话，那无敌了

oldmo 写了： 2023年 9月 7日 19:54 华为没选择，光机所的EUV不是商业产品，华为有没有问题都得用，华为估计已经用了1年了


等9000s大规模使用，再看刻的芯片有没啥长期问题

oldmo 写了： 2023年 9月 7日 15:02 EUV光刻机共有三大核心技术，分别为EUV光源系统，高精度弧形反射镜系统、超高精度真空双工件台

高精度弧形反射镜系统

早在2015年，中国的长春光机所就已经研发出了EUV光刻机的高精度弧形反射镜系统，多层层镀膜面形误差小于0.1nm，达到了EUV级光刻机的标准。

但这套系统有个小问题，并非所有零部件都是国产的，其中镀膜装置采购自海外。

放在外国的话，长春光机所的这项技术就已经是人类最顶尖级别的了，但当被禁售制裁导致镀膜装置买不到后就全废了。

我们知道如何制造人类最顶级的高精度弧形反射镜系统，但缺少镀膜装置这个零部件，导致整个系统都无法制造。

2021年7月，中科院控股企业北京中科科美成功研发出镀膜精度控制在0.1nm以内的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置，满足了长春光机所对零部件的技术要求。

中科科美研发的镀膜装置送到长春光机所后，我国立刻制造出了EUV级光刻机级别的高精度弧形反射镜系统。

这次纯国产，每一个零部件都是国产。

超高精度真空双工件台

2022年，哈工大传来喜讯，该大学科研组成功研发出真空用超高精度激光干涉仪，位移分辨力5pm，位移测量标准差达到30pm，关键指标与ASML最高水平接近，满足EUV真空双工件台对高速超精密激光干涉仪的精度要求。

双工件台造起来不难，但双工件台的工作精度由激光干涉仪决定。

我国突破了真空用超高精度激光干涉仪的关键技术，就可以轻松制造超高精度的真空双工件台。

凭此贡献，哈工大于2022年荣获中国光学领域最高荣誉金隧奖，并在金奖名单里位列第一。为什么美国要把哈工大列入制裁实体清单，拼命遏制这个学校的发展，现在你应该知道了。

因为哈工大的贡献，EUV级光刻机的三大核心技术的第二项，被我国成功突破。


还剩下的那最后一项是EUV光源系统，也是核心的核心。

光刻机光刻机，听名字你就知道光源才是最核心的东西，而EUV光源则是EUV光刻机的心脏部件。

这玩意全球只有美国会造，多年来都明文列入瓦森纳协定，美国麾下的42个瓦森纳成员国集体对中国严格禁售。

没有EUV级光源，哪怕其他光刻机部件中国全都造出来了也没用。

2023年4月13日，长春光机所官网公布消息，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼在长春光机所参观了EUV光源系统。

hhcare 写了： 2024年 9月 16日 01:22 尼玛， 老子给顶起来看看，，

一年前的技术。。 DUV