中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

bigball · 帖子由 **bigball** » 2023年 9月 14日 11:18

clearjks 写了： 2023年 9月 14日 11:17 当然不是，这个思路都烂大街很多年了，主要是成本太高，光源不稳定！哈哈！

总比一年4千亿芯片便宜

cokecoke

clearjks 写了： 2023年 9月 14日 11:17 当然不是，这个思路都烂大街很多年了，主要是成本太高，光源不稳定！哈哈！

要有发展的眼光啊，随着技术的进步，以前实现不了的现在可能就可以实现了

gousheng

这是老思路新探索，加速器体积庞大，造价也高，没人去尝试。当ASML的EUV光源成功了以后就没人想着走另外一条路。

cokecoke 写了： 2023年 9月 14日 11:12 这是新思路吧，如果成功，就彻底突围了

newIdRobot

lahei · 帖子由 **lahei（专用）** » 2023年 9月 14日 11:34

clearjks 写了： 2023年 9月 14日 10:46 实验没问题，工业化量产就是另一回事了！稳定性，可靠性，价格都要考虑！然后中共就没戏了！哈哈！

村逼你鳖是白菜化大爹，银河系独一份

clearjks · 帖子由 **clearjks** » 2023年 9月 14日 11:36

傻逼，中共最能大白菜就是你们这群五毛粉红奴隶，其他的都白菜不了！哈哈！

lahei 写了： 2023年 9月 14日 11:34 村逼你鳖是白菜化大爹，银河系独一份

lahei · 帖子由 **lahei（专用）** » 2023年 9月 14日 11:38

clearjks 写了： 2023年 9月 14日 11:36 傻逼，中共最能大白菜就是你们这群五毛粉红奴隶，其他的都白菜不了！哈哈！

笑死了蠢逼，你弟毁就毁在养了一批你们这样只会叫的狂犬病狗，一事无成

Adadis · 帖子由 **Adadis** » 2023年 9月 14日 11:39

还是在实验室里，距离商用还差得远。

laodongzhe18

铁杵磨成针骗骗小孩可以，商业化就傻逼了。

Goou · 帖子由 **Goou（野狗）** » 2023年 9月 14日 12:27

史坦福大学好像早就做了ppt，但是一直没做出实物出来。
这次算土鳖抄袭？

StMichael · 帖子由 **StMichael** » 2023年 9月 14日 12:30

ASML EUV走到头了。

碰到能量天花板了。下一代high-NA EUV用ASML 光源效率更低。

所以，其实加速器EUV可以看作电车取代油车一样的产业升级。

gousheng 写了： 2023年 9月 14日 11:23 这是老思路新探索，加速器体积庞大，造价也高，没人去尝试。当ASML的EUV光源成功了以后就没人想着走另外一条路。

F1450 · 帖子由 **F1450** » 2023年 9月 14日 12:40

这个不是要解决EUV的问题，这是要解决厚光刻胶曝光导致上下结构不一致的问题，也就是高宽比的问题，用于through silicon via和bosch etch等。

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