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Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:18
bigball
clearjks 写了: 2023年 9月 14日 11:17 当然不是,这个思路都烂大街很多年了,主要是成本太高,光源不稳定!哈哈!
总比一年4千亿芯片便宜

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:21
cokecoke
clearjks 写了: 2023年 9月 14日 11:17 当然不是,这个思路都烂大街很多年了,主要是成本太高,光源不稳定!哈哈!
要有发展的眼光啊,随着技术的进步,以前实现不了的现在可能就可以实现了

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:23
gousheng
这是老思路新探索,加速器体积庞大,造价也高,没人去尝试。当ASML的EUV光源成功了以后就没人想着走另外一条路。

cokecoke 写了: 2023年 9月 14日 11:12 这是新思路吧,如果成功,就彻底突围了

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:25
newIdRobot
Mark

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:34
lahei
clearjks 写了: 2023年 9月 14日 10:46 实验没问题,工业化量产就是另一回事了!稳定性,可靠性,价格都要考虑!然后中共就没戏了!哈哈!
村逼你鳖是白菜化大爹,银河系独一份

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:36
clearjks
傻逼,中共最能大白菜就是你们这群五毛粉红奴隶,其他的都白菜不了!哈哈!
lahei 写了: 2023年 9月 14日 11:34 村逼你鳖是白菜化大爹,银河系独一份

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:38
lahei
clearjks 写了: 2023年 9月 14日 11:36 傻逼,中共最能大白菜就是你们这群五毛粉红奴隶,其他的都白菜不了!哈哈!
笑死了蠢逼,你弟毁就毁在养了一批你们这样只会叫的狂犬病狗,一事无成

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:39
Adadis
还是在实验室里,距离商用还差得远。

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 11:58
laodongzhe18
铁杵磨成针骗骗小孩可以,商业化就傻逼了。

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 12:27
Goou
史坦福大学好像早就做了ppt,但是一直没做出实物出来。
这次算土鳖抄袭?

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 12:30
StMichael
ASML EUV走到头了。

碰到能量天花板了。下一代high-NA EUV用ASML 光源效率更低。

所以,其实加速器EUV可以看作电车取代油车一样的产业升级。
gousheng 写了: 2023年 9月 14日 11:23 这是老思路新探索,加速器体积庞大,造价也高,没人去尝试。当ASML的EUV光源成功了以后就没人想着走另外一条路。

Re: 中科院高能所同步辐射实验室试验成功200纳米光刻机

发表于 : 2023年 9月 14日 12:40
F1450
这个不是要解决EUV的问题,这是要解决厚光刻胶曝光导致上下结构不一致的问题,也就是高宽比的问题,用于through silicon via和bosch etch等。