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Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:47
由 sishibuhuo
光刻胶这东西比光刻机难度要低一个数量级吧。
我不知道有没有搞出来。但是感觉这不是太难的事。
类似于千老做实验吧。这个真的可以大力出奇迹
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:49
由 none
肯定难度低得多，但先前就根本没想过EUV的事。
sishibuhuo 写了： 2023年 9月 15日 00:47
光刻胶这东西比光刻机难度要低一个数量级吧。
我不知道有没有搞出来。但是感觉这不是太难的事。
类似于千老做实验吧。这个真的可以大力出奇迹
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 01:03
由 ssskof2002
none 写了： 2023年 9月 15日 00:03
我是消息太灵通了。
我不说话。
现在很多消息都是自媒体瞎几把编的，某些关键部位 比如光刻胶哪有那么好突破。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 02:49
由 pepper
ssskof2002 写了： 2023年 9月 15日 01:03
现在很多消息都是自媒体瞎几把编的，某些关键部位 比如光刻胶哪有那么好突破。
我鳖最不缺的就是生化钱老，另外这种材料本身其实没什么难度，市场竞争主要是在产能和良率，被禁运的情况下这两都不是问题。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 03:16
由 萧武达
这个有点，鸡和蛋的问题吧
国内木有EUV机，胶的需求为0
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 07:03
由 mondy
none 写了： 2023年 9月 14日 23:39
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
你不知道国内各层次的光刻胶都可以做，只是高端的被日本垄断，但是如果放开手脚要用国产的有试错机会那就可以快速发展了
别以为这个是多了不起的事情
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 07:09
由 foofy
http://www.ipc.cas.cn/xwzx/kyjz/202101/ ... 73217.html
极紫外光刻胶”研发团队由化学所和理化所共同建立，是国内最早从事EUV光刻胶研发的专业团队。团队面向国家半导体产业重大需求，瞄准国外垄断的EUV光刻技术材料领域，着力研发EUV光刻胶材料和相关设备，解决半导体领域关键材料和设备“卡脖子”问题。团队先后承担了国家02专项、中国科学院先导项目和国家自然科学基金委项目的光刻胶研发任务，开发出具有国际先进水平和完全自主知识产权的EUV光刻胶，实现了从材料设计到中试生产的全流程，填补了国内技术空白。标志着我国在高端光刻胶领域已跻身世界先进行列，为国内半导体产业安全、国家经济安全和信息安全提供有力保障。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 07:25
由 llling369
None老师咋连这么公开的信息都不知道？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 07:53
由 none
这些信息是给你们外行看的。。。
llling369 写了： 2023年 9月 15日 07:25
None老师咋连这么公开的信息都不知道？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 08:01
由 llling369
这个诈胡没啥意思吧？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 08:10
由 krzkrz
none 写了： 2023年 9月 15日 07:53
这些信息是给你们外行看的。。。
结果看你也没说出来啥干货
别酸了 真的 知乎上这种人在美国 刚刚落地 业内相关 匿名爆料的戏码大家都看多了
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 08:13
由 Adadis
none 写了： 2023年 9月 14日 23:39
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
7纳米光刻胶国产了
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 08:30
由 monk
llling369 写了： 2023年 9月 15日 07:25
None老师咋连这么公开的信息都不知道？
囊教授本质还是站美国这边的，呵呵。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 08:34
由 none
我站事实
monk 写了： 2023年 9月 15日 08:30
囊教授本质还是站美国这边的，呵呵。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 10:47
由 none
刚才看唐传祥的一个讲话，
说光刻胶改成没那么敏感的光刻胶，
加大光刻功率。
光刻胶这玩意，你得摸索很久的配方。
那里面不止光敏成分，还有其他调节粘附性、流滞性等性质的，
先有光刻机，然后才能相应配套针对不同光刻产品开发不同光刻胶配方。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 10:59
由 none
唐传祥可能不太了解光刻胶，简单化了。
这玩意不是说你加大紫外线功率就能对没那么敏感的光刻胶产生同样的效果的。
resolution和对比度/陡度这些参数，紫外线能量高了会导致降低，
没那么容易调的。
none 写了： 2023年 9月 15日 10:47
刚才看唐传祥的一个讲话，
说光刻胶改成没那么敏感的光刻胶，
加大光刻功率。
光刻胶这玩意，你得摸索很久的配方。
那里面不止光敏成分，还有其他调节粘附性、流滞性等性质的，
先有光刻机，然后才能相应配套针对不同光刻产品开发不同光刻胶配方。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 11:02
由 orangedot
StMichael 写了： 2023年 9月 15日 00:22
这有啥道远的
ASML的EUV出来一共也没几年(第一台样机2006）。
对应的光刻胶当然不可能有多难搞出来。
没错，从原理出来，到机器出来没几年
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 11:04
由 orangedot
none 写了： 2023年 9月 15日 10:59
唐传祥可能不太了解光刻胶，简单化了。
这玩意不是说你加大紫外线功率就能对没那么敏感的光刻胶产生同样的效果的。
resolution和对比度/陡度这些参数，紫外线能量高了会导致降低，
没那么容易调的。
这个就是高分子材料嘛，生化环材坑了不少中国理科生，但是人才储备应该是有的
这一块没有高深没人懂的理论，就是个工程问题，有市场，有钱，有时间，有人才，很快会出来的
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 11:09
由 newIdRobot
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 11:10
由 newIdRobot
阮富仲 写了： 2023年 9月 15日 00:06
这是清华大学化工系基本有机合成专业高材生包书的强项
总书记亲自指导亲自部署