光刻机中，“光”部分的猜测

[verdelite]

平行光能提高成像分辨率。
我还是拿照相机做比方， 照相机有个背景虚化的概念。
如果光刻机 也存在各种不同平行度的光线， 那么景深范围之外的 东西也会被虚化 而不是精确成像。
考虑到掩模的层厚， 微米级别 和 光刻机 纳米级别的景深。 显然大部分掩模会在景深之外 而被模糊成像(也就是虚化)。

如果是平行光照射就不存在这个问题。

你这段话有问题。用平型光（例如日光）来照射景物，对比用非平行光（例如大型射灯）照射景物，对照相机来说，不影响景深。

[verdelite]

我虽然不是光学专业的， 但学过大学物理。
以上这些结论都是靠大学物理课上学的简单几何光学 稍微思考一下就能得出。

那我们水平差不多。我觉得你认为照明系统需要点光源，或者平行光源且其镜片需要超高精度，这看法是不对的。

[verdelite]

光刻机是透射光线成像。
照相机是反射光线成像。

网上EUV示意图是反射光线成像。DUV好像是透视光线成像。

[verdelite]

我水平明显比你高。
你学了 不知道思考， 连点都抓不住。

显微镜照明系统 光圈就好几个， 干啥用的? 还不是控制光线平行度， 就是控制近轴光线的。


别说显微镜了， 就是x光衍射这种系统， 虽然不是透镜成像， 靠的是小孔成像。 也是要把x射线尽量弄成平行的， 叫collimator

刚才我们讨论的显微镜照明系统，里面两个光圈，都不是控制光线平行度的。一个是控制照明区域大小的，一个是控制明暗的。

你前面几贴，说透视反射的，都没有讨论我提出的“EUV光刻机从 示意图上看是反射光线成像的”这事。

[verdelite]

因为再说照明系统啊
照明系统需要产生平行光。
至于后面是透镜成像 还是反射镜成像 那不是照明系统的问题了啊。

不管是透镜成像 还是反射镜成像， 那个都是基于无限远设计得，也就是基于平行光线设计得。
因为光线入射角度一变大 很多假设都不成立了

我说的是，DUV是用mask的透射光成像，但是EUV是用mask的反射光成像。

[verdelite]

我为什么要提景深?
因为景深之外的掩模成像是模糊一片， 这种"背景虚化" 在照相机是好事， 但在光刻机里是坏事。

本来一条锐利的直线， 因为景深原因一成像变成高斯扩散那种效果， 还造个屁电路。

我说的是，景深和照射系统无关。

[verdelite]

掩模表面平整度怎么样?
平行光入射会散射成 非平行光吗?
你只要回答这个问题 就知道照明系统要不要求平行光了

这我不清楚。

[verdelite]

平行光景深无限大， 这个承认了吧?
为了获取平行光要怎么做?
把掩模放到成像光学系统前无限远的位置?
这显然是不可能得。

那么就让掩模反射的光线是平行光不就行了吗。
掩模反射的光线 哪来的?
照明系统来的。
Got it?

你这说法自成一体，和实际情况符合度有多少我不知道。只好暂时存疑。

主要原因是mask（假设物像比4：1）线宽28纳米的话，其反射的13.5纳米的光线，已经衍射效应强大，就算入射的是平行光，反射的多大程度上还算平行光，不是很清楚。对成像效果的影响如何还得看看实际情况是怎样的。

[verdelite]

平行光只是几何光学的说法。
考虑衍射这种波动光学的现象， 那就是换种说法， 波前是平面。

我也改一下：就算入射的光波前是平面，反射的光多大程度上波前还算是平面，不是很清楚。

[verdelite]

所以我问你euv掩模表面平整度啊。
只要平整度好 反射的也是平面波前

你问我的是一个我不知道的问题。

我只是觉得，就算平整度很好，有反光和无反光的交界处，还是会有衍射效应，造成反射光的波前不是平面的。

[TheMatrix]

我虽然不是光学专业的， 但学过大学物理。
以上这些结论都是靠大学物理课上学的简单几何光学 稍微思考一下就能得出。

听起来挺专业的。

[verdelite]

听起来挺专业的。

弃婴会比你感觉更准确。她死哪儿去了。