你这段话有问题。用平型光（例如日光）来照射景物，对比用非平行光（例如大型射灯）照射景物，对照相机来说，不影响景深。中国共产党未命空间党小组 写了： 2023年 1月 3日 15:42 平行光能提高成像分辨率。
我还是拿照相机做比方， 照相机有个背景虚化的概念。
如果光刻机 也存在各种不同平行度的光线， 那么景深范围之外的 东西也会被虚化 而不是精确成像。
考虑到掩模的层厚， 微米级别 和 光刻机 纳米级别的景深。 显然大部分掩模会在景深之外 而被模糊成像(也就是虚化)。
如果是平行光照射就不存在这个问题。
那我们水平差不多。我觉得你认为照明系统需要点光源，或者平行光源且其镜片需要超高精度，这看法是不对的。
网上EUV示意图是反射光线成像。DUV好像是透视光线成像。
刚才我们讨论的显微镜照明系统，里面两个光圈，都不是控制光线平行度的。一个是控制照明区域大小的，一个是控制明暗的。中国共产党未命空间党小组 写了： 2023年 1月 3日 17:24 我水平明显比你高。
你学了 不知道思考， 连点都抓不住。
显微镜照明系统 光圈就好几个， 干啥用的? 还不是控制光线平行度， 就是控制近轴光线的。
别说显微镜了， 就是x光衍射这种系统， 虽然不是透镜成像， 靠的是小孔成像。 也是要把x射线尽量弄成平行的， 叫collimator
我说的是，DUV是用mask的透射光成像，但是EUV是用mask的反射光成像。中国共产党未命空间党小组 写了： 2023年 1月 3日 17:52 因为再说照明系统啊
照明系统需要产生平行光。
至于后面是透镜成像 还是反射镜成像 那不是照明系统的问题了啊。
不管是透镜成像 还是反射镜成像， 那个都是基于无限远设计得，也就是基于平行光线设计得。
因为光线入射角度一变大 很多假设都不成立了
我说的是，景深和照射系统无关。中国共产党未命空间党小组 写了： 2023年 1月 3日 18:04 我为什么要提景深?
因为景深之外的掩模成像是模糊一片， 这种"背景虚化" 在照相机是好事， 但在光刻机里是坏事。
本来一条锐利的直线， 因为景深原因一成像变成高斯扩散那种效果， 还造个屁电路。
这我不清楚。
你这说法自成一体，和实际情况符合度有多少我不知道。只好暂时存疑。中国共产党未命空间党小组 写了： 2023年 1月 3日 18:17 平行光景深无限大， 这个承认了吧?
为了获取平行光要怎么做?
把掩模放到成像光学系统前无限远的位置?
这显然是不可能得。
那么就让掩模反射的光线是平行光不就行了吗。
掩模反射的光线 哪来的?
照明系统来的。
Got it?
我也改一下：就算入射的光波前是平面，反射的光多大程度上波前还算是平面，不是很清楚。
你问我的是一个我不知道的问题。
听起来挺专业的。
弃婴会比你感觉更准确。她死哪儿去了。