剩下10%用来校准维护
正常两周停机半天整体95%附近使用率
清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
版主: Softfist
#45 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
清华人的成果逼得耗子的精神分裂症状越来越严重了
#47 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
大家可以继续拿耗子来逗乐,千万别当真。在上次关于EUV成像系统的讨论中,耗子和一些本论坛的科技名人居然连EUV镜面反射的基本原理都不知道,只看了几眼wiki 就敢评论,暴露后就转移话题。你当国内人是傻子啊,没人要他太说明问题了。
#48 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移
RobotII 写了: 2025年 9月 26日 12:51大家可以继续拿耗子来逗乐,千万别当真。在上次关于EUV成像系统的讨论中,耗子和一些本论坛的科技名人居然连EUV镜面反射的基本原理都不知道,只看了几眼wiki 就敢评论,暴露后就转移话题。你当国内人是傻子啊,没人要他太说明问题了。
所以我一直确认耗子有精神问题