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#41 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 09:32
Linjiaojiao
dearbornp 写了: 2025年 7月 7日 12:17

这是啥意思?就是说光是工件台这一个设备,就把良率至少拉低到了90%以下?那要是加上其他工艺设备,根本就没法用啊。

剩下10%用来校准维护
正常两周停机半天整体95%附近使用率


#42 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 09:35
pia
hhcare 写了: 2025年 7月 7日 01:52

Foofy
清华搞的全是骗子
说明完蛋了

这次叔挺谢老师


#43 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 09:45
ukuh

清华的老是跟北大的耗子对着干


#44 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 10:08
madao

大学做光刻机,听着就是骗子


#45 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 11:46
mondy

清华人的成果逼得耗子的精神分裂症状越来越严重了


#46 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 11:59
lahei
魔术强森 写了: 2025年 7月 7日 06:11

euv感觉还是遥遥无期,尤其是华为盘古造假曝出来,国内搞高精尖技术还有很长的路要走。

暴击吧了,笑死


#47 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 12:51
RobotII
mondy 写了: 2025年 9月 26日 11:46

清华人的成果逼得耗子的精神分裂症状越来越严重了

大家可以继续拿耗子来逗乐,千万别当真。在上次关于EUV成像系统的讨论中,耗子和一些本论坛的科技名人居然连EUV镜面反射的基本原理都不知道,只看了几眼wiki 就敢评论,暴露后就转移话题。你当国内人是傻子啊,没人要他太说明问题了。


#48 Re: 清华大学首次公布国产光刻机双工件台进展:达到阿斯麦EUV光刻同类水平,工件台全位姿皮米精度、光刻机亚纳米精度、高动态位移

发表于 : 2025年 9月 26日 13:56
mondy
RobotII 写了: 2025年 9月 26日 12:51

大家可以继续拿耗子来逗乐,千万别当真。在上次关于EUV成像系统的讨论中,耗子和一些本论坛的科技名人居然连EUV镜面反射的基本原理都不知道,只看了几眼wiki 就敢评论,暴露后就转移话题。你当国内人是傻子啊,没人要他太说明问题了。

所以我一直确认耗子有精神问题