新未名空间

llb 写了： 2025年 11月 11日 09:47

那不就是thermal expansion 低吗
Fused silica 如何
Schott 也做很多啊

光刻机不就一电灯泡
在受力 强uv 照射 还有控溫0.01 C下绝对不变形

原来snowman=阴不露

弃婴千枝 写了： 2025年 11月 11日 10:20

原来snowman=阴不露

用词语法比较过了吗？

Linjiaojiao 写了： 2025年 11月 11日 10:20

光刻机不就一电灯泡
在受力 强uv 照射 还有控溫0.01 C下绝对不变形

你一学化学的（你自称不愿意被称学化工的）也唠叨光刻机？

datada 写了： 2025年 11月 11日 10:21

用词语法比较过了吗？

我不记得丫原id是什么了，我只是拷贝河北耗子的原帖
一切罪孽归耗子

站内帖子：Re: 鳖国绕开了光刻机

Linjiaojiao 写了： 2025年 11月 11日 10:20

光刻机不就一电灯泡
在受力 强uv 照射 还有控溫0.01 C下绝对不变形

你算算吧，怎么可能0.01
有必要吗

datada 写了： 2025年 11月 11日 10:21

用词语法比较过了吗？

是过了，应该叫“阴部露”inblue

llb 写了： 2025年 11月 11日 10:24

你算算吧，怎么可能0.01
有必要吗

这世界上存在0.01°这样精度的温度传感器么

弃婴千枝 写了： 2025年 11月 11日 10:22

你一学化学的（你自称不愿意被称学化工的）也唠叨光刻机？

为卖点东西 不得跟现场工程师唠咳 留点好印象 才能说好话
后来来了个SB marketing的头 说方法不对 重新training 要至上而下 操 Intel CEO 我能见得着 他还管买什么光刻胶 这年月操蛋的事多了

llb 写了： 2025年 11月 11日 10:24

你算算吧，怎么可能0.01
有必要吗

是个日本公司做的sensor thermal fisher做的整体系统 为满足耗老师赛毛的要求 怕mask和lens变形 这是号称 是不是真的 我不是工程师

Linjiaojiao 写了： 2025年 11月 11日 10:30

是个日本公司做的sensor thermal fisher做的整体系统 为满足耗老师赛毛的要求 怕mask和lens变形 这是号称 是不是真的 我不是工程师

光刻机那么大，各个地方的温度范围要求应该不一样。
别乱说

llb 写了： 2025年 11月 11日 10:32

光刻机那么大，各个地方的温度范围要求应该不一样。
别乱说

Lens和mask 所在区必须严格温控 以防变形
DUV每个镜头都得带温控系统 有时是故意升温 让镜头变形做调整
＇

Linjiaojiao 写了： 2025年 11月 11日 11:31

Lens和mask 所在区必须严格温控 以防变形
DUV每个镜头都得带温控系统 有时是故意升温 让镜头变形做调整
＇

光学玻璃的热膨胀率是10^-7, 即使duv镜头等效厚度1米，温度变换1°，厚度变化才0.1微米，这0.1微米的变换还并不一定影响成像，

你们学化学的对很多物理细节没有直觉

你看天文望远镜，直径30米，都是露天放着，也没听说气温变化了影响成像的

站内帖子：耗子 蚀刻技术将取代光刻成芯片制造核心

弃婴千枝 写了： 2025年 11月 11日 11:44

光学玻璃的热膨胀率是10^-7, 即使duv镜头等效厚度1米，温度变换1°，厚度变化才0.1微米，这0.1微米的变换还并不一定影响成像，

你们学化学的对很多物理细节没有直觉

做芯是十几纳米 偏差容度就一两个纳米
跟照相机 望远镜是两码事

Linjiaojiao 写了： 2025年 11月 11日 12:02

做芯是十几纳米 偏差容度就一两个纳米
跟照相机 望远镜是两码事

镜头变形，与像变形，是2回事情，

ok？

镜头本质上是个对物平面的傅立叶变换，傅立叶变换作个扰动，并不一定使得变换后的函数有可以觉察的变化

有快二十个镜头
累加起来也很可观
wafer 平整度都要1 nm以内

弃婴千枝 写了： 2025年 11月 11日 10:20

原来snowman=阴不露

你是左右不分

Linjiaojiao 写了： 2025年 11月 11日 12:07

有快二十个镜头
累加起来也很可观
wafer 平整度都要1 nm以内

镜头变形
与
像变形

是2回事情，影响是高阶小量，你看30米望远镜都是露天放着，冬天夏天温度差几十度也没人关心