一台EUV光刻机有45万个零件，ASML只生产15%，85%靠采购

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众所周知，EUV光刻机被人称之为世界上最精密的机器，因为它能用来生产当前最先进的3nm芯片，是真正的“工业皇冠上的明珠”。而从价格来看话，一台先进制程的EUV光刻机，可以卖到3~4亿美金，比一架波音飞机都贵，而重量甚至可以达到180吨。

如果要从荷兰运一台ASML光刻机到中国，需要4架次的波音747货机，还需要40多个恒温恒湿专用箱、专业防震气垫车来运输，路上还不能出任何一点差错，一出差错，问题就大了，不是损失钱，一台EUV就像是一台印钞机一样，是损失了“印钞”能力。同时当这台机器运到目的地后，需要专业的运输车来运送，还需要一组工程师，到现场进行安装调试。而一旦调试好之后，这台EUV光刻机一年可以稳定运行超过98%的时间，每年停机检修工作只需要7天左右，每一个部件正常工作时间至少要达到3万小时以上。

可见，ASML的光刻机，确实牛，不是吹的，这种精密程度，说全球最精密，一点都没有吹牛。而一台这样的EUV光刻机，需要的零件不是网上说的10万个，而是超过45万个。这45万个零件中，ASML大约只生产了其中的15%，另外的85%是ASML从全球的供应链那里整合而来的。

在光刻机这一领域，ASML的最大本事，其实并不是什么自研技术，其实是组装光刻机，将这45万个零件，组装成一台全球最精密的仪器，让他全年无休的工作，不需要休息，这就是ASML的本事。毕竟一台光刻机，在制造芯片时，镜头是不动的，而晶圆是要在工作台上是在不断移动的，如果控制不好，芯片就没法制造了。而EUV光刻机内，这种移动的精度要达到1nm内，也就是“套刻精度”（Overlay）<1nm。目前全球也就ASML能够达到，像尼康、佳能的光刻机，还达不到这种精度，所以他们也无法推出EUV光刻机。

至于ASML的EUV核心技术，其实还是来源于美国，当年美国的英特尔发起了EUV LLC联盟，集合了英特尔、ASML、AMD、摩托罗拉等美国科技巨头，还有几大美国实验室，集合几百位顶级科学家的力量，投入了几亿美元，验证了EUV光刻机的可行性后，将技术只交给了ASML，让ASML来研发。而ASML则拉上蔡司等供应链，不断的研究，终于让理论变成现实，有了现在的EUV光刻机，而尼康、佳能没能得到美国的EUV技术，最终还停留在DUV上。

可见，组装也是核心科技，就像欧洲的工程师曾吹牛的，给中国光刻机图纸，也未必造得出光刻机出来，还真是如此，就算拿到45万个零件，我们也未必能够造出这种精密的机器来，需要积累、经验，以及各种光学、力学、物理、材料能力等等。所以国产光刻机加油吧，没有什么弯道超车的方法，把基础打牢，与供应链合作，靠自己生产45万个零件，不太可能的，只有大家一起一步一步走，才有可能追上，想要弯道超车，说不定会翻车。

[whitepaper]

180万吨？没搞错吧？

[Jack12345]

180万吨？没搞错吧？

180 吨 差不多？

[Frankfurt]

180 吨 差不多

[doyouever]

我猜想在套刻的时候，光学系统是不动的，机械系统也是不动的。只是投影的成像改变而已。机械位移很难保证一纳米的精度。

[littlek]

只有DUV做7nm的芯片时才需要它宣称的“套刻”，EUV“套刻”个屁，而且这种纳米力学平台光学实验很常见，淘宝就能买。包括压电马达移动的，这玩意是中国最早突破的。

而且这逼还用几万个零件来忽悠人，他妈的一台手机也有几万个零件，不要说手机，就是你脚上穿的鞋子也有几千个零件，你上窑子用的套套也要近百个零件。

我猜想在套刻的时候，光学系统是不动的，机械系统也是不动的。只是投影的成像改变而已。机械位移很难保证一纳米的精度。

[BCQ1]

别说光刻机了，国内连高端精密机床也造不出来
都被德国和日本统治，高端精密机床利润率高，
国内搞了半天最后也放弃了，搞不到别人的技术
自己研发，那费劲了，别人都是多少年的技术沉淀

[xexz]

可惜‘平面光栅技术’兔子执牛耳，你们不知道而已。
你的euv光源是准分子激光，又贵又不好用，参看上海光机所的新原理自由电子激光和华为公开的自由电子激光匀光镜专利，你弟的euv恐怕要血本无归了。

[foofy]

别说光刻机了，国内连高端精密机床也造不出来
都被德国和日本统治，高端精密机床利润率高，
国内搞了半天最后也放弃了，搞不到别人的技术
自己研发，那费劲了，别人都是多少年的技术沉淀

醒醒。国产高端精密机床两年前已经占了三成。现在只多不少。

[verdelite]

我猜想在套刻的时候，光学系统是不动的，机械系统也是不动的。只是投影的成像改变而已。机械位移很难保证一纳米的精度。

这个猜测我想不对。原因是要刻许多次，刻完了要洗和离子植入，然后又要刻。所以对准是不可少的。这个对准当然肯定是需要光学系统参与的。

[verdelite]

只有DUV做7nm的芯片时才需要它宣称的“套刻”，EUV“套刻”个屁，而且这种纳米力学平台光学实验很常见，淘宝就能买。包括压电马达移动的，这玩意是中国最早突破的。

而且这逼还用几万个零件来忽悠人，他妈的一台手机也有几万个零件，不要说手机，就是你脚上穿的鞋子也有几千个零件，你上窑子用的套套也要近百个零件。

几万个肯定一个螺丝算一个。关键的地方没多少。大部分是打酱油的。

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物镜系统目前最难

几万个肯定一个螺丝算一个。关键的地方没多少。大部分是打酱油的。