国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
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国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
如果大家了解光刻机的历史,就知道,美国的第一台接触式光刻机是1961年造出来的,而中国第一台接触式光刻机是在1966年左右造出来的,只落后了5年左右。后来到1985年,1985年中电科45所研发出了分布式投影光刻机,其性能与美国GCA公司在1978年推出的差不多,相当于只落后了7年左右。但如今,ASML的已经拥有了EUV光刻机,制造工艺可以达到3nm,甚至2nm。而国产光刻机,分辨率还处于90nm,乐观点的话,也有10多年以上的差距。如果的按照光刻机的演进关系来看的话, 从接触式光刻机,到EUV光刻机,目前已经第6代了,而国产光刻机目前是处于第4代。
不过,有一个好消息是,目前国产光刻机要迈入第5代,其实只有关键一步了,只要迈过这个关键一步,就能够进入第5代,也就是浸润式光刻机(ArFi光刻机),而这种光刻机能够实现的最小工艺制程至少可达到7nm的。之前在台积电没有采用EUV光刻机前,用ArFi 光刻机,使用4个光罩、4次曝光,就可以达到7nm(苹果A12和华为麒麟980就是采用ArFi光刻机制造出来的7nm芯片)据说台积电还可以极限使用ArFi光刻机,经过6个光罩,9次曝光,实现5nm工艺,不过EUV光刻机只要一次曝光,一个光罩就能实现7nm、5nm,台积电能买到EUV,不需要这么极限使用。这意味着什么,相信不用我多说,只要搞定ArFi光刻机,我们芯片工艺就没有脖子可卡了,甚至可以实现7nm、5nm,还卡什么卡?
那么国产光刻机从第4代的ArF迈入第五代的ArFi,中间差了哪一关键一步?从技术原理来看,光刻机有三大核心,分别是光源系统、物镜系统,工作台。光源系统第四、五代是一样的,都是193nm波长的紫外线,这一块通用。而工作台也是一样的,目前国内的华卓精科有双工作台技术。难的还是在物镜系统上,浸润式光刻机与干式光刻机的不同之处是,浸润式光刻机要在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水,然后193nm的光波在水中被折射成134nm,所以物镜系统不一样。
物镜是光刻机中最昂贵最复杂的部件之一,浸没式光刻物镜异常复杂,涵盖了光学、机械、计算机、电子学等多个学科领域最前沿,二十余枚镜片的初始结构设计难度极大——不仅要控制物镜波像差,更要全面控制物镜系统的偏振像差。目前除了德国的蔡司公司可以实现,还有尼康买了蔡司的技术后,也能自己实现外,国内还没有这个技术,据称国防科大精密工程团队自主研制的磁流变和离子束两种超精抛光装备,实现了光学零件加工的纳米精度,但还不够。
而蔡司也好,尼康也好,这种物镜系统,都不能出口给中国,所以国产第五代光刻机,一直没能研发出来,原因就是这关键一步。据称最近几年,国内光学、机械等技术发展,这种浸润式光刻机的物境系统已经有了大突破,那么意味着浸润式光刻机就离我们不远了,那么7nm芯片,甚至5nm芯片离我们也不远了。
如果大家了解光刻机的历史,就知道,美国的第一台接触式光刻机是1961年造出来的,而中国第一台接触式光刻机是在1966年左右造出来的,只落后了5年左右。后来到1985年,1985年中电科45所研发出了分布式投影光刻机,其性能与美国GCA公司在1978年推出的差不多,相当于只落后了7年左右。但如今,ASML的已经拥有了EUV光刻机,制造工艺可以达到3nm,甚至2nm。而国产光刻机,分辨率还处于90nm,乐观点的话,也有10多年以上的差距。如果的按照光刻机的演进关系来看的话, 从接触式光刻机,到EUV光刻机,目前已经第6代了,而国产光刻机目前是处于第4代。
不过,有一个好消息是,目前国产光刻机要迈入第5代,其实只有关键一步了,只要迈过这个关键一步,就能够进入第5代,也就是浸润式光刻机(ArFi光刻机),而这种光刻机能够实现的最小工艺制程至少可达到7nm的。之前在台积电没有采用EUV光刻机前,用ArFi 光刻机,使用4个光罩、4次曝光,就可以达到7nm(苹果A12和华为麒麟980就是采用ArFi光刻机制造出来的7nm芯片)据说台积电还可以极限使用ArFi光刻机,经过6个光罩,9次曝光,实现5nm工艺,不过EUV光刻机只要一次曝光,一个光罩就能实现7nm、5nm,台积电能买到EUV,不需要这么极限使用。这意味着什么,相信不用我多说,只要搞定ArFi光刻机,我们芯片工艺就没有脖子可卡了,甚至可以实现7nm、5nm,还卡什么卡?
那么国产光刻机从第4代的ArF迈入第五代的ArFi,中间差了哪一关键一步?从技术原理来看,光刻机有三大核心,分别是光源系统、物镜系统,工作台。光源系统第四、五代是一样的,都是193nm波长的紫外线,这一块通用。而工作台也是一样的,目前国内的华卓精科有双工作台技术。难的还是在物镜系统上,浸润式光刻机与干式光刻机的不同之处是,浸润式光刻机要在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水,然后193nm的光波在水中被折射成134nm,所以物镜系统不一样。
物镜是光刻机中最昂贵最复杂的部件之一,浸没式光刻物镜异常复杂,涵盖了光学、机械、计算机、电子学等多个学科领域最前沿,二十余枚镜片的初始结构设计难度极大——不仅要控制物镜波像差,更要全面控制物镜系统的偏振像差。目前除了德国的蔡司公司可以实现,还有尼康买了蔡司的技术后,也能自己实现外,国内还没有这个技术,据称国防科大精密工程团队自主研制的磁流变和离子束两种超精抛光装备,实现了光学零件加工的纳米精度,但还不够。
而蔡司也好,尼康也好,这种物镜系统,都不能出口给中国,所以国产第五代光刻机,一直没能研发出来,原因就是这关键一步。据称最近几年,国内光学、机械等技术发展,这种浸润式光刻机的物境系统已经有了大突破,那么意味着浸润式光刻机就离我们不远了,那么7nm芯片,甚至5nm芯片离我们也不远了。
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sweetsister 的博客 - 帖子: 10149
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
如果这个国产光刻机搞出来了,
那,下一步美国还要制裁点啥捏
那,下一步美国还要制裁点啥捏
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
以后是土共卡别人脖子。。。
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sweetsister 的博客 - 帖子: 10149
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
我最近也不断听到这种传闻,各种消息来源还不一样。
不知道是不是真的。
都说至多2023年底光刻机方面会有大新闻。
虽然不抱太大希望,然而心底总期望是真的。
不知道是不是真的。
都说至多2023年底光刻机方面会有大新闻。
虽然不抱太大希望,然而心底总期望是真的。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
洗洗睡吧
梦里什么都有
梦里什么都有
2022世界傻逼大赛结果出炉:
第三名:某女傻逼:“俄乌这一仗:打虛了美国,打傻了欧盟,打呆了北约,打烂了乌克兰,打出了一个硬汉普京”。
第二名:一个傻逼演讲:“我们千万不能出门,再忍十年,外国人就都死光了,那时候我们就是世界霸主了〞。
第一名:一个在法律上终身不得拥有一寸土地的傻逼满含泪水哽咽地说"台湾领士是我们的"。
第三名:某女傻逼:“俄乌这一仗:打虛了美国,打傻了欧盟,打呆了北约,打烂了乌克兰,打出了一个硬汉普京”。
第二名:一个傻逼演讲:“我们千万不能出门,再忍十年,外国人就都死光了,那时候我们就是世界霸主了〞。
第一名:一个在法律上终身不得拥有一寸土地的傻逼满含泪水哽咽地说"台湾领士是我们的"。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
这最后一步,差的是中国工业体系整体与世界先进水平的距离,这一步的距离恐怕不止五十年,一百年。因为工人才是制造业的主体。现在的中国,工人是奴隶,无权力,无地位,无收入,试问,哪个奴隶会希望奴隶主长期欺压自己的。
我这个三班倒二十多年的工人想要说话都要翻墙跑出来说,试问,哪个人愿意当工人的。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
此贴含有不当言辞,已被修改。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
参考北斗和天宫
天朝被不带你玩的时候
galileo 是欧洲盎撒不带你玩
international space station 是大漂亮盎撒不带你玩
那俩货都不是一个国家搞的, 天朝被封锁, 然后就没有盎撒的然后了... LOL
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
工人也分为得过且过的、想把现有工作干好的、有技术改造想法的。前两种显然在中国或者美国,都对技术进步没什么用。zhangwen720 写了: ↑3月 2, 2023, 10:17 am 这最后一步,差的是中国工业体系整体与世界先进水平的距离,这一步的距离恐怕不止五十年,一百年。因为工人才是制造业的主体。现在的中国,工人是奴隶,无权力,无地位,无收入,试问,哪个奴隶会希望奴隶主长期欺压自己的。
我这个三班倒二十多年的工人想要说话都要翻墙跑出来说,试问,哪个人愿意当工人的。
哪个工人愿意看到习近平这个猪狗不如,全家不得好死的红二代越过越好,自己越过越差的
后一种,需要有体制保证他的想法如果足够好,他能找到钱支持,而这些钱在成功后能够获得回报。这和工人的待遇关系不大。
没有光子;也没有量子能级,量子跃迁,量子叠加,量子塌缩和量子纠缠。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
鳖共的意识形态里面还差了“世人皆傻”这一条。所以有很多政策失误。比如崇洋媚外还在;比如要应用马克思的经济思路。如果知道世人皆傻,这两个问题都可以避免。
鳖信仰的唯物主义倒是正确的。
鳖需要修正主义,不能坚持旧版本不放。
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没有光子;也没有量子能级,量子跃迁,量子叠加,量子塌缩和量子纠缠。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
尼玛,这差一步,放哪里都可以啊!
我和马云差一步。
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
为什么认为美国自己做不到的中国做不到?
中国人的勤劳,聪明/鸡贼 天下无敌。
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人生最大的智慧是希望和等待
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Re: 国产光刻机,已只差最后一步,就能实现7nm芯片的制造了
耗子不回去就不要想造出光刻机来
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