尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:23
从1981年的g-line，到2004年193nm的ArF。我鳖目前能够达到什么水平？
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:28
也许尼康的镜头设计来自日本光学咨询公司Akira Yabe? Jim博士收集的资料真不错
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:33
难度主要在哪里？是材料，镜头制造，还是设计？
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:45
这是下一个课题了，EUV镜头用的就是非球面反射镜。我鳖学习or挑战的对象也变成了蔡司。
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:49
一面非球面透镜或者反射镜是不够的，要求的指标不仅仅是放大倍数，还有相差、光强均匀度等
确实，蔡司的模拟是我憋无法逾越的。耗子号称能做模拟，也是在别人基础上
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:50
耗子嗤之以鼻
使用一面推臀式反射镜解决所有问题
使用一面推臀式反射镜解决所有问题
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:53
反射镜加透镜非常有助于消象差.不过euv没有合适透镜材料是主因吧.如果以后要走euv的路,可以放弃透镜路线.
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:53
还有比你这更废话的吗？octane 写了： 2023年 3月 3日 11:49 一面非球面透镜或者反射镜是不够的，要求的指标不仅仅是放大倍数，还有相差、光强均匀度等
确实，蔡司的模拟是我憋无法逾越的。耗子号称能做模拟，也是在别人基础上
牛顿也是踩在巨人肩膀上啊
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:53
nikon不行了
你看看最新的双目望远镜就知道了，这些都是可以花钱买到并做对比的
nikon在光学领域对新技术的追求，就像大日本帝国的手机产品一样搞笑
你看看最新的双目望远镜就知道了，这些都是可以花钱买到并做对比的
nikon在光学领域对新技术的追求，就像大日本帝国的手机产品一样搞笑
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:55
所以主要问题是拟真和设计？octane 写了： 2023年 3月 3日 11:49 一面非球面透镜或者反射镜是不够的，要求的指标不仅仅是放大倍数，还有相差、光强均匀度等
确实，蔡司的模拟是我憋无法逾越的。耗子号称能做模拟，也是在别人基础上
听起来跟风洞的情况有相似之处
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 11:58
那么某天蔡司的软件或者其他软件不让黄皮用了怎么办？你们应该有人好好学一学怎么用麦克斯韦尔方程编程模拟光线，然后反推最优化光学器件。这些基础软件才是我憋应该做的，成天叫嚣着要搞基础科学
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:00
都有。我老不能说太多，说得越多某些人（不是指耗子这样的）就越难受
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:06
拟真的难点在哪里？
光线理论无论是经典还是量子不早都研究透透了吗
写个软件的难度在哪里呢？
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:07
我也不太明白
CFD还有激波湍流之类的玩意儿不好算
光也有这些东西吗？
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:08
光场解决方案框架有好些，也算论文热点。所以还不算是早就研究透透的
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:10
简单粗暴的类似ray tracing这样的不行吗？
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:11
不行。那是以前的近似方案。当波长和阻挡物大小接近时候，情况就很复杂
Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图
发表于 ： 2023年 3月 3日 12:12
听着感觉像是做Matlab啊
octane 写了： 2023年 3月 3日 11:58 那么某天蔡司的软件或者其他软件不让黄皮用了怎么办？你们应该有人好好学一学怎么用麦克斯韦尔方程编程模拟光线，然后反推最优化光学器件。这些基础软件才是我憋应该做的，成天叫嚣着要搞基础科学