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兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 11:30
由 foofy
在雄安建设SSMB-EUV。建设成本不到十个亿人民币。周长100米。EUV 1kW。可以刻1纳米。
https://mp.weixin.qq.com/s/5IZBlfFYKnmPCSxprFrivg

Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 11:48
由 hhcare
兔子还在放卫星。。。
清华这个垃圾祸害河北去了
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 11:49
由 G99991
刁夶畜的千年大计
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 11:52
由 shenhaixiong
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 11:48
兔子还在放卫星。。。
清华这个垃圾祸害河北去了
转AI吧,光刻机要白菜化了
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 11:53
由 midlander
清河研
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 11:54
由 hhcare
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:15
由 foofy
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 11:48
兔子还在放卫星。。。
清华这个垃圾祸害河北去了
才十亿
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:15
由 foofy
这个需要综合考量,现在ASML的设备体积也不小,比一辆公交车还大,这还未算上驱动激光的体积。采用SSMB可以省去驱动激光和EUV收集器的体积,放在FAB内的占地就会小很多。其次是能耗,LPP用20万瓦的二氧化碳激光去轰击锡滴来产生300瓦的极紫外光,然后通过收集镜,照明反射镜和投影物镜经过11次反射后到达硅片表面,每次反射损耗30%能量,最终到达硅片的能量只有可怜的300瓦✕2%=6瓦,能量利用率极低,怪不得弯弯总是缺电,用SSMB可以减少一半左右的反射次数。再次是维护费用,LPP在轰击锡靶的时候会产生大量金属碎屑,虽然可以通过一些方法把碎屑吸走,但是时间久了仍会有不少碎屑掉落到收集镜上污染镜片,所以隔一定的时间是需要更换收集镜的,更换一次的费用可不菲。用SSMB不需要收集镜也没有碎屑问题。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:16
由 foofy
可以省去驱动激光。耗子要失业了。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:19
由 hhcare
foofy 写了: 2023年 3月 19日 12:15
这个需要综合考量,现在ASML的设备体积也不小,比一辆公交车还大,这还未算上驱动激光的体积。采用SSMB可以省去驱动激光和EUV收集器的体积,放在FAB内的占地就会小很多。其次是能耗,LPP用20万瓦的二氧化碳激光去轰击锡滴来产生300瓦的极紫外光,然后通过收集镜,照明反射镜和投影物镜经过11次反射后到达硅片表面,每次反射损耗30%能量,最终到达硅片的能量只有可怜的300瓦✕2%=6瓦,能量利用率极低,怪不得弯弯总是缺电,用SSMB可以减少一半左右的反射次数。再次是维护费用,LPP在轰击锡靶的时候会产生大量金属碎屑,虽然可以通过一些方法把碎屑吸走,但是时间久了仍会有不少碎屑掉落到收集镜上污染镜片,所以隔一定的时间是需要更换收集镜的,更换一次的费用可不菲。用SSMB不需要收集镜也没有碎屑问题。
别扯淡好不好。 学别人的, 踏踏实实, 就是华为当初打苹果, 美国只能靠禁华为。
你自己吹牛搞, 钱投下去, 出不来的可能性大大的。 你知道哪里出问题了? 哪里那么容易的。
使用euv也很复杂, 你不用asml的技术, 还能避开所有难的地方?!你最多避开一点点,,
也就是euv制造100个项目, 你最重要的光源10个项目却要自己搞,那90个成了这10个失败了还不得等这个垃圾。。
落后第一条, 赶快复制成功的东西。
别他妈的傻逼地以为自己很聪明, 清华真它妈的祸国殃民的垃圾!
别他妈的傻逼地以为自己很聪明, 清华真它妈的祸国殃民的垃圾!
别他妈的傻逼地以为自己很聪明, 清华真它妈的祸国殃民的垃圾!
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:22
由 hhcare
euv光刻机可以不用耗子, 但是三个原则一个都不能错:
1. 完全复制美国和欧洲技术, 这个它妈的清华的在祸害。
2. 大胆起用国内年轻人,这个华为在祸害。
3. 到便宜的地方, 持久搞。 整个科技界在祸害。
丝毫不看好国内搞euv。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:23
由 pia
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 11:48
兔子还在放卫星。。。
清华这个垃圾祸害河北去了
鼠食
清华搞出过啥有用东西?
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:23
由 foofy
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 12:19
别扯淡好不好。 学别人的, 踏踏实实, 就是华为当初打苹果, 美国只能靠禁华为。
你自己吹牛搞, 钱投下去, 出不来的可能性大大的。 你知道哪里出问题了? 哪里那么容易的。
使用euv也很复杂, 你不用asml的技术, 还能避开所有难的地方?!你最多避开一点点,,
也就是euv制造100个项目, 你最重要的光源10个项目却要自己搞,那90个成了这10个失败了还不得等这个垃圾。。
落后第一条, 赶快复制成功的东西。
别他妈的傻逼地以为自己很聪明, 清华真它妈的祸国殃民的垃圾!
别他妈的傻逼地以为自己很聪明, 清华真它妈的祸国殃民的垃圾!
别他妈的傻逼地以为自己很聪明, 清华真它妈的祸国殃民的垃圾!
人家清华ssmb都在德国光源验证可行了。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:24
由 foofy
pia 写了: 2023年 3月 19日 12:23
鼠食
清华搞出过啥有用东西?
光刻机的双工件台就是清华搞的。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:25
由 hhcare
foofy 写了: 2023年 3月 19日 12:23
人家清华ssmb都在德国光源验证可行了。
你它妈的傻逼啊。
邓小平还多次上times杂志呢。
帝国主义给你竖起大拇指, 。。。 你真是脑子进水了。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:25
由 foofy
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 12:22
euv光刻机可以不用耗子, 但是三个原则一个都不能错:
1. 完全复制美国和欧洲技术, 这个它妈的清华的在祸害。
2. 大胆起用国内年轻人,这个华为在祸害。
3. 到便宜的地方, 持久搞。 整个科技界在祸害。
丝毫不看好国内搞euv。
耗子脑袋保守,不能接受新事物
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:27
由 foofy
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 12:25
你它妈的傻逼啊。
邓小平还多次上times杂志呢。
帝国主义给你竖起大拇指, 。。。 你真是脑子进水了。
人家在德国加速器光源搞出euv。还发了nature。
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:31
由 zmimy
hhcare 写了: 2023年 3月 19日 12:22
euv光刻机可以不用耗子, 但是三个原则一个都不能错:
1. 完全复制美国和欧洲技术, 这个它妈的清华的在祸害。
2. 大胆起用国内年轻人,这个华为在祸害。
3. 到便宜的地方, 持久搞。 整个科技界在祸害。
丝毫不看好国内搞euv。
耗子人品低劣,不过这三个原则倒是没错的。不能因人废言。
中国这种抄近道耍小聪明的急功近利做法注定失败
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:33
由 midlander
用同步辐射作为euv光源居然真搞出来了?
这个肯定可行,但是搞出来也非常牛逼了,只有物理大国才能做到
Re: 兔子EUV光刻机要弯道超车了
发表于 : 2023年 3月 19日 12:35
由 foofy
midlander 写了: 2023年 3月 19日 12:33
用同步辐射作为euv光源居然真搞出来了?
这个肯定可行,但是搞出来也非常牛逼了,只有物理大国才能做到
中国FEL都搞了半打了。