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上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 06:24
由 yokel
上海微电子的193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800（对标产品为ASML 2018年推出的DUV光刻机：TWINSCAN NXT:2000i），首台样机已于2023年1月通过专家验证，2月发往下游工厂试用。
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 07:06
由 tingtingliu
yokel 写了： 2023年 5月 2日 06:24
上海微电子的193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800（对标产品为ASML 2018年推出的DUV光刻机：TWINSCAN NXT:2000i），首台样机已于2023年1月通过专家验证，2月发往下游工厂试用。
这么爱国的新闻现在才说
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:00
由 Rabboni
瓦特法克,不是说已经搞出了7纳米的国产EUV光刻机？
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:02
由 yokel
Rabboni 写了： 2023年 5月 2日 08:00
瓦特法克,不是说已经搞出了7纳米的国产EUV光刻机？
同步进行
EUV只是搞定了几个关键子系统
还没有集成
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:03
由 laodongzhe18
还是写0.2微米更有轰动效果。
yokel 写了： 2023年 5月 2日 06:24
上海微电子的193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800（对标产品为ASML 2018年推出的DUV光刻机：TWINSCAN NXT:2000i），首台样机已于2023年1月通过专家验证，2月发往下游工厂试用。
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:04
由 bradyzhu
只是传说刚刚搞定了7nmEUV光刻机中的两个关键部件。
哪怕所有部件都攻关成功，攒出整机还需要不少时间。
Rabboni 写了： 2023年 5月 2日 08:00
瓦特法克,不是说已经搞出了7纳米的国产EUV光刻机？
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:04
由 yokel
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:44
由 xexz
yokel 写了： 2023年 5月 2日 08:04
老将心理崩溃了
就当不知道，还好，还好。
Re: 上微193nm ArF浸没式DUV光刻机SSA800发往下游工厂
发表于 ： 2023年 5月 2日 08:57
由 omicron
是28nm光刻机
现在很多芯片都是28nm加工的，FPGA，MCU，汽车芯片