中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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none楼主
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中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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转自:http://life.taocms.org/04/62458.htm

EUV光刻机共有三大核心技术,分别为EUV光源系统,高精度弧形反射镜系统、超高精度真空双工件台。

中国并非毫无技术底蕴,这三大核心技术其实还是有一个的。
早在2015年,中国的长春光机所就已经研发出了EUV光刻机的高精度弧形反射镜系统,多层层镀膜面形误差小于0.1nm,达到了EUV级光刻机的标准。
但这套系统有个小问题,并非所有零部件都是国产的,其中镀膜装置采购自海外。
放在外国的话,长春光机所的这项技术就已经是人类最顶尖级别的了,但当被禁售制裁导致镀膜装置买不到后就全废了。
我们知道如何制造人类最顶级的高精度弧形反射镜系统,但缺少镀膜装置这个零部件,导致整个系统都无法制造。
2021年7月,中科院控股企业北京中科科美成功研发出镀膜精度控制在0.1nm以内的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置,满足了长春光机所对零部件的技术要求。
中科科美研发的镀膜装置送到长春光机所后,我国立刻制造出了EUV级光刻机级别的高精度弧形反射镜系统。

这次纯国产,每一个零部件都是国产。
至此EUV光刻机的三大核心技术被我国突破了一个,还剩两个。

2022年,哈工大传来喜讯,该大学科研组成功研发出真空用超高精度激光干涉仪,位移分辨力5pm,位移测量标准差达到30pm,关键指标与ASML最高水平接近,满足EUV真空双工件台对高速超精密激光干涉仪的精度要求。
双工件台造起来不难,但双工件台的工作精度由激光干涉仪决定。
我国突破了真空用超高精度激光干涉仪的关键技术,就可以轻松制造超高精度的真空双工件台。
凭此贡献,哈工大于2022年荣获中国光学领域最高荣誉金隧奖,并在金奖名单里位列第一。
为什么美国要把哈工大列入制裁实体清单,拼命遏制这个学校的发展,现在你应该知道了。
美国的制裁清单都是精挑细选的,从来都不会冤枉任何人,不够格的是不配上清单的。
因为哈工大的贡献,EUV级光刻机的三大核心技术的第二项,被我国成功突破。

还剩下的那最后一项是EUV光源系统,也是核心的核心。
光刻机光刻机,听名字你就知道光源才是最核心的东西,而EUV光源则是EUV光刻机的心脏部件。
这玩意全球只有美国会造,多年来都明文列入瓦森纳协定,美国麾下的42个瓦森纳成员国集体对中国严格禁售。
没有EUV级光源,哪怕其他光刻机部件中国全都造出来了也没用。
2022年下半年,有小道消息说中国已成功研发出EUV级光源,但并没有官方信息证实。
2023年4月13日,长春光机所官网公布消息,中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼在长春光机所参观了EUV光源系统。
这是中国首次官方证实了我国已成功研发出EUV光源系统。
而且在官网的介绍里,明确写着白春礼参观的是EUV光源样机,也就是说长春光机所连工程样机都已经制造出来了。

所谓工程样机,指的是面向商用研制的1:1样机,在通过验收后就可以直接量产,交付客户使用。
按中国的“潜规则”,工程样机没有经过严格测试认定成功之前是不可能邀请领导来参观的,敢让领导来参观并在官网上对外公布,那就说明该工程样机不仅制造成功且已经通过了测试。
倒算时间,长春光机所在实验室里成功研发出EUV光源那就是去年底,小道消息没有错,只是官网通告要把方方面面都测试到万无一失才可以,所以又等了半年才公布。
至此,中国成功突破了EUV光刻机的所有关键技术,跨过了高端光刻机和中端光刻机的关键门槛,纯国产7nm和5nm甚至3nm芯片生产线的大门已被中国彻底打开。
对此消息,外媒的评价是“炸裂式技术突破”。

按光刻机行业的正常进度,光源样机造出后只要一年时间就可以制造出用于芯片制造的光刻机,然后各种测试、磨合和商业化规模应用大概要花费2年的时间。
换句话说,2024年中国将成功制造出纯国产的EUV级光刻机整机,2026年之前将彻底落地商业化规模生产,如果各企业及监管部门通力协作加班加点,这个时间还可以提前。
中国原计划是2030年之前突破EUV光刻机,按目前的进度看绝对可以大大提前,将至少提前4年,甚至5年。
随着中国对EUV光刻机研发进度的不断增长,ASML对中国的态度也在不断变化。
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none楼主
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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EUV光源真的攻克了么?
相应的EUV国产光刻胶有吗?
bradyzhu
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 bradyzhu »

不急,不是还有几年嘛。
技术突破到攒出成品整机还有一两年时间,周边零零散散还有不少小东西。
snowman
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 snowman »

none 写了: 5月 5, 2023, 9:13 am EUV光源真的攻克了么?
相应的EUV国产光刻胶有吗?
中国的问题,就是还没做出来就先吹。
主要是为了领导有政绩。为了吹得令人相信,还要介绍技术细节。

西方正好相反,只把成品做出来给你看,从来不讲技术细节。

话说回来,半导体的问题,不仅仅是一个技术问题,归根结底,它还是一个政治问题。

中国半导体行业被西方逼到无米下锅,才想着赶鸭子上架搞自主研发,这就是政治上的大问题。

光刻机造出来,到底能不能实现自主,这也同样是一个政治意愿问题
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none楼主
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 none楼主 »

75-95这20年中国产出了非常多优秀的科技人员
irisyuan
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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外媒的评价是“炸裂式技术突破”。

哪个外媒?我就是想学习一下这个炸裂式应该怎么翻译?
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fanqie
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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美国这届智囊团太傻逼,和台湾人抢5,6万美金的工作,和中国人抢低端制造业。把大量的学理工中国人赶回中国。

好不容易让中国人依赖美国的大豆,玉米,天然气,整天嚷嚷要制裁。逼兔子也搞转基因。过几年靠BLM来对抗中国吗?
fukwumao
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 fukwumao »

稳了
良率破0指日可待
2022世界傻逼大赛结果出炉:
第三名:某女傻逼:“俄乌这一仗:打虛了美国,打傻了欧盟,打呆了北约,打烂了乌克兰,打出了一个硬汉普京”。
第二名:一个傻逼演讲:“我们千万不能出门,再忍十年,外国人就都死光了,那时候我们就是世界霸主了〞。
第一名:一个在法律上终身不得拥有一寸土地的傻逼满含泪水哽咽地说"台湾领士是我们的"。
fukwumao
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 fukwumao »

irisyuan 写了: 5月 5, 2023, 3:12 pm 外媒的评价是“炸裂式技术突破”。

哪个外媒?我就是想学习一下这个炸裂式应该怎么翻译?
牛B炸裂
2022世界傻逼大赛结果出炉:
第三名:某女傻逼:“俄乌这一仗:打虛了美国,打傻了欧盟,打呆了北约,打烂了乌克兰,打出了一个硬汉普京”。
第二名:一个傻逼演讲:“我们千万不能出门,再忍十年,外国人就都死光了,那时候我们就是世界霸主了〞。
第一名:一个在法律上终身不得拥有一寸土地的傻逼满含泪水哽咽地说"台湾领士是我们的"。
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awaydream
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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none 写了: 5月 5, 2023, 11:13 am 75-95这20年中国产出了非常多优秀的科技人员
再优秀也需要科技项目锻炼的, 升级的, 光忙着发灌水paper, 把正事都耽误了
弱冠少年江湖行
不慕脂粉慕英雄
大剑一挥风雷动
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awaydream
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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fanqie 写了: 5月 5, 2023, 3:50 pm 美国这届智囊团太傻逼,和台湾人抢5,6万美金的工作,和中国人抢低端制造业。把大量的学理工中国人赶回中国。

好不容易让中国人依赖美国的大豆,玉米,天然气,整天嚷嚷要制裁。逼兔子也搞转基因。过几年靠BLM来对抗中国吗?


应该是担心中国人在美国有二心, 学学技术,国内撒点狗粮,全跑回去了, 所以干脆先不招中国人了,
进行损失管理了。
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Xiaoduoduo
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 Xiaoduoduo »

中科院的看看就行了,别当真。
dearbornp
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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none 写了: 5月 5, 2023, 9:13 am EUV光源真的攻克了么?
相应的EUV国产光刻胶有吗?
DUV的光源和光刻胶都没有能用的呢,哪儿来的EUV的?这些瞎吹的东西主要是为了迷惑美国,好放松对DUV级别的设备和材料的限制。
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datoumao
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 datoumao »

掐白松吹
xexz
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 xexz »

你帝气势汹汹,层层加码,我兔不给一个fuck,你帝黔驴技穷,无能怒吼,不管蛋用。
lonelyarcher
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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老逼将气急败坏
两眼一闭啥都没有
twed
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 twed »

中国能否研发出自己的光刻机,打破美国的封锁?
chatgp回答如下:
中国已经在自主研发光刻机方面取得了一定进展,但要完全打破美国在这一领域的封锁还需要一定时间和技术上的突破。目前,中国的光刻机主要分为两种类型,一种是紫外光刻机,另一种是电子束光刻机。

在紫外光刻机方面,中国已经可以生产一些中高端产品,但仍然存在一些技术上的瓶颈,例如光学镜头、曝光光源等核心部件还需要进一步提高性能和可靠性。此外,由于美国对光刻机芯片出口的管制,中国仍然存在依赖进口一些关键零部件和技术的情况。

在电子束光刻机方面,中国在过去几年已经取得了一些突破性进展,例如2018年中国科学院微电子研究所成功研发出世界上最小的电子束光刻机,可以制造出10纳米级别的芯片。但电子束光刻机仍然存在制造成本高、生产效率低等问题,需要进一步提高技术水平和工艺流程。

综上所述,中国已经在自主研发光刻机方面取得了一些进展,但要完全摆脱对进口技术和设备的依赖,还需要进一步提高技术水平和核心部件的自主研发能力。
dreamig
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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none 写了: 5月 5, 2023, 6:01 am 转自:http://life.taocms.org/04/62458.htm

EUV光刻机共有三大核心技术,分别为EUV光源系统,高精度弧形反射镜系统、超高精度真空双工件台。

中国并非毫无技术底蕴,这三大核心技术其实还是有一个的。
早在2015年,中国的长春光机所就已经研发出了EUV光刻机的高精度弧形反射镜系统,多层层镀膜面形误差小于0.1nm,达到了EUV级光刻机的标准。
但这套系统有个小问题,并非所有零部件都是国产的,其中镀膜装置采购自海外。
放在外国的话,长春光机所的这项技术就已经是人类最顶尖级别的了,但当被禁售制裁导致镀膜装置买不到后就全废了。
我们知道如何制造人类最顶级的高精度弧形反射镜系统,但缺少镀膜装置这个零部件,导致整个系统都无法制造。
2021年7月,中科院控股企业北京中科科美成功研发出镀膜精度控制在0.1nm以内的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置,满足了长春光机所对零部件的技术要求。
中科科美研发的镀膜装置送到长春光机所后,我国立刻制造出了EUV级光刻机级别的高精度弧形反射镜系统。

这次纯国产,每一个零部件都是国产。
至此EUV光刻机的三大核心技术被我国突破了一个,还剩两个。

2022年,哈工大传来喜讯,该大学科研组成功研发出真空用超高精度激光干涉仪,位移分辨力5pm,位移测量标准差达到30pm,关键指标与ASML最高水平接近,满足EUV真空双工件台对高速超精密激光干涉仪的精度要求。
双工件台造起来不难,但双工件台的工作精度由激光干涉仪决定。
我国突破了真空用超高精度激光干涉仪的关键技术,就可以轻松制造超高精度的真空双工件台。
凭此贡献,哈工大于2022年荣获中国光学领域最高荣誉金隧奖,并在金奖名单里位列第一。
为什么美国要把哈工大列入制裁实体清单,拼命遏制这个学校的发展,现在你应该知道了。
美国的制裁清单都是精挑细选的,从来都不会冤枉任何人,不够格的是不配上清单的。
因为哈工大的贡献,EUV级光刻机的三大核心技术的第二项,被我国成功突破。

还剩下的那最后一项是EUV光源系统,也是核心的核心。
光刻机光刻机,听名字你就知道光源才是最核心的东西,而EUV光源则是EUV光刻机的心脏部件。
这玩意全球只有美国会造,多年来都明文列入瓦森纳协定,美国麾下的42个瓦森纳成员国集体对中国严格禁售。
没有EUV级光源,哪怕其他光刻机部件中国全都造出来了也没用。
2022年下半年,有小道消息说中国已成功研发出EUV级光源,但并没有官方信息证实。
2023年4月13日,长春光机所官网公布消息,中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼在长春光机所参观了EUV光源系统。
这是中国首次官方证实了我国已成功研发出EUV光源系统。
而且在官网的介绍里,明确写着白春礼参观的是EUV光源样机,也就是说长春光机所连工程样机都已经制造出来了。

所谓工程样机,指的是面向商用研制的1:1样机,在通过验收后就可以直接量产,交付客户使用。
按中国的“潜规则”,工程样机没有经过严格测试认定成功之前是不可能邀请领导来参观的,敢让领导来参观并在官网上对外公布,那就说明该工程样机不仅制造成功且已经通过了测试。
倒算时间,长春光机所在实验室里成功研发出EUV光源那就是去年底,小道消息没有错,只是官网通告要把方方面面都测试到万无一失才可以,所以又等了半年才公布。
至此,中国成功突破了EUV光刻机的所有关键技术,跨过了高端光刻机和中端光刻机的关键门槛,纯国产7nm和5nm甚至3nm芯片生产线的大门已被中国彻底打开。
对此消息,外媒的评价是“炸裂式技术突破”。

按光刻机行业的正常进度,光源样机造出后只要一年时间就可以制造出用于芯片制造的光刻机,然后各种测试、磨合和商业化规模应用大概要花费2年的时间。
换句话说,2024年中国将成功制造出纯国产的EUV级光刻机整机,2026年之前将彻底落地商业化规模生产,如果各企业及监管部门通力协作加班加点,这个时间还可以提前。
中国原计划是2030年之前突破EUV光刻机,按目前的进度看绝对可以大大提前,将至少提前4年,甚至5年。
随着中国对EUV光刻机研发进度的不断增长,ASML对中国的态度也在不断变化。
怎么能把这么重要的项目交给东北逼来做呢,东北逼什么逼样看看愚公就知道了LOL
Deepsix
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

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dreamig 写了: 5月 5, 2023, 11:13 pm 怎么能把这么重要的项目交给东北逼来做呢,东北逼什么逼样看看愚公就知道了LOL
我20年前全国各地跑,东三省的技术能力很好。与广东,北京一个级别。但是广东人对技术理论不够重视。上海人不行,不是不够聪明,而是心思不在技术上。
dreamig
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Re: 中国在EUV光刻机三大核心技术上的进步

帖子 dreamig »

Deepsix 写了: 5月 5, 2023, 11:39 pm 我20年前全国各地跑,东三省的技术能力很好。与广东,北京一个级别。但是广东人对技术理论不够重视。上海人不行,不是不够聪明,而是心思不在技术上。
关键是尽20年东北不行了,人才都跑完了
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