我国共有三个机构接到了光刻机研发任务，分别为中国电科，上海微电，长春光机所。
上海微电，中国电科都是在突破DUV光刻机，而长春光机所是EUV光刻机。
上海微电子在今年正式推出28纳米DUV光刻机，长春的EUV光刻机，什么情况了，目前是曝光系统，光源自动校正进行优化。
曝光光学系统有光刻机“心脏”之称，是光刻机技术难度的集中体现，长春国科精密在2018年就通过了面向90纳米节点的光学系统验收。目前正向28纳米节点的光学系统攻关。2021年可以取得突破。
中国EUV光刻机能不能突破，就看长春国科精密给不给力了，那时长春光机所唯一的上市平台，奥普光电，也将水涨船高。
EUV的难点：
（1） DUV波长193纳米，EUV光源的波长为13.5纳米，波长越短，所能实现的分辨率越高。
（2） DUV光路主要利用光的折射原理。浸没式填入去离子水，EUV光刻机内部必须为真空操作
（3） EUV光刻机镜头难度更大。
北京国望，是长春光机所合并组织的企业，法人代表长春人。
2021年的旧文章，看看中国DUV，EUV光刻机的布局
版主： Softfist
Re: 2021年的旧文章，看看中国DUV，EUV光刻机的布局
从业界各家研发EUV的经历来看这玩意儿没那么好做，否则也不会有用duv多重曝光硬上7nm的骚操作。连tsmc这么又富又肝的业界领头羊也没办法一步到位euv 7nm，不知道长春光机怎么做出来的。
Re: 2021年的旧文章，看看中国DUV，EUV光刻机的布局
前中科院院长白春礼视察长春光机所，对其研制成功极紫外光刻机重要部件一一EUV光源工程化样机表示高度肯定
2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前党组书记、院长白春礼到长春光机所调研。
在金宏书记的陪同下，白春礼先后参观了高通量基因测序仪、EUV光源、02专项等科技创新成果及研究进展，并就相关技术问题与科技人员进行了深入交流。白春礼对长春光机所光电关键核心技术攻关所取得的成绩给予了高度肯定，希望长春光机所继续发挥优良传统，为加快解决光电领域“卡脖子”问题努力作出新的更大贡献。
中国科学院院士张洪杰，长春市科协党组书记、主席周衍广及副主席王立伍陪同调研。
2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前党组书记、院长白春礼到长春光机所调研。
在金宏书记的陪同下，白春礼先后参观了高通量基因测序仪、EUV光源、02专项等科技创新成果及研究进展，并就相关技术问题与科技人员进行了深入交流。白春礼对长春光机所光电关键核心技术攻关所取得的成绩给予了高度肯定，希望长春光机所继续发挥优良传统，为加快解决光电领域“卡脖子”问题努力作出新的更大贡献。
中国科学院院士张洪杰，长春市科协党组书记、主席周衍广及副主席王立伍陪同调研。
