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我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:39
由 none
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:41
由 Scraper
啥是分子玻璃光刻胶？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:43
由 none
分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。
Scraper 写了： 2023年 9月 14日 23:41
啥是分子玻璃光刻胶？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:43
由 gousheng
同步进行有啥问题，早晚的事。等光源解决了，光刻胶也差不多了
none 写了： 2023年 9月 14日 23:39
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:43
由 retry
这个应该是憋了好久一直在弄的。光源跟ASML的不同， 那胶是不是跟ASML 一样的都两说。
被霉蒂掐死前， 体积巨大没法市场化。 现在掐死了， 市场有了。就都上了。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:45
由 StMichael
这个多试试就出来了吧。
双健数目加加减减
none 写了： 2023年 9月 14日 23:43
分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:46
由 wildthing
none 写了： 2023年 9月 14日 23:39
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
有钱能使鬼推磨
知道技术的人也许已经悄悄地贡献了配方
这无非是个化学工艺问题
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:46
由 superdsb
为啥PMMA不能用euv?
none 写了： 2023年 9月 14日 23:43
分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:47
由 sdehc
“arfi及以下光刻胶没啥难题了，华为能大规模卖9000s芯片的产品就是明证。光刻胶保质期才三个月，必定是有稳定靠谱的国产光刻胶生产商了，而且，我恰恰还知道是哪家。euv光刻胶的难题是国内还没有euv光刻机，没有调试环境，不过还是我说的那家，他们还是世界光刻胶第一巨头Jsr的euv光刻胶单体供应商，euv光刻胶大概率和国产euv光刻机同步调试，不信等着看好了。所以，小日本当官的脑子怕是进水了，为了效忠美国主子，拖慢我们的进展，不惜坑自己人。Jsr是懂的，也是反对的，要不然怎么被国有化收购呢？收购后日本政府卖的是国，收购前可是割人家Jsr股东的肉。
作者：哗啦啦
链接：
https://www.zhihu.com/question/34976672 ... 3205938913“
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 14日 23:50
由 sdehc
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:01
由 Caravel
none 写了： 2023年 9月 14日 23:39
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
你是化学方向的么？消息不灵通啊
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:03
由 none
我是消息太灵通了。
我不说话。
Caravel 写了： 2023年 9月 15日 00:01
你是化学方向的么？消息不灵通啊
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:08
由 xiaoju
中国也研究了20多年的EUV光刻机，不存在任何一个空白领域
none 写了： 2023年 9月 14日 23:39
EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。
7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。
但现在谈EUV，是不是有点早？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:12
由 tywodx
这个话题很敏感，真正知道点东西的人根本不敢说话。这阵子大造声势抓贱谍不是没原因的，一个芯片，一个登月，要不惮于用最大的恶意揣测那个国家的下三滥
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:13
由 superdsb
none没的说错
配方这玩意儿是工艺的一部分
没有euv 就没办法调配方
而且每台euv上的配方都可能有差别
这个要原料供应商驻厂
和研发工程师一起搞才有结果
所以还是任重道远
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:22
由 StMichael
这有啥道远的
ASML的EUV出来一共也没几年(第一台样机2006）。
对应的光刻胶当然不可能有多难搞出来。
superdsb 写了： 2023年 9月 15日 00:13
none没的说错
配方这玩意儿是工艺的一部分
没有euv 就没办法调配方
而且每台euv上的配方都可能有差别
这个要原料供应商驻厂
和研发工程师一起搞才有结果
所以还是任重道远
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:23
由 wanmeishijie
none 写了： 2023年 9月 14日 23:43
分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。
不愧是轮胎橡胶大学出来的，专业！
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:28
由 retry
StMichael 写了： 2023年 9月 15日 00:22
这有啥道远的
ASML的EUV出来一共也没几年(第一台样机2006）。
对应的光刻胶当然不可能有多难搞出来。
第一台 euv release 不是 2016 么？ 样机那么早？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:29
由 StMichael
Having seen what was possible, in 2001 ASML assigned a small group of people and modest resources to build a prototype EUV system. The team achieved their goal in 2006, when the first EUV prototypes were shipped to imec in Belgium and SUNY (College of Nanoscale Science & Engineering) in Albany, New York.Mar 30, 2022
https://www.asml.com › ... › News
Making EUV: from lab to fab – Stories - ASML
retry 写了： 2023年 9月 15日 00:28
第一台 euv release 不是 2016 么？ 样机那么早？
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为
发表于 ： 2023年 9月 15日 00:32
由 Amorphous
none 写了： 2023年 9月 14日 23:43
分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。
这种还真不是高精尖，完全可以大炼光刻胶，通过人民战争取得成功