#1 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 11:35
懂的来说说
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#2 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 11:37
好像是28nm
#3 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:05
根据Nyquist原理, 65纳米的分辨率, 线宽是其一半, 32纳米, 刻蚀的时候会让宽度减少一些, 达到28纳米
#4 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:08
进一步到ArFi 难度还有多大?
#5 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:11
这个65纳米的就是SSA800的上一代，早出来一年，现在已经零部件100％国产化了
SSA800会在明年达到零部件100％国产化
#6 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:12
应该快完成了
加i除以1.44
其它不提升的情况下大概可以搞到18-20nm
但是如果同时伴随着分辨率和套刻精度的提升
做到14nm就很容易了
7nm也不遥远
#7 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:15
台积电当年花了2年时间, 大陆应该不需要这么长时间.无非现在就是要求100%可控
#8 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:16
据说现在的一个方向是DUV + very high NAyokel 写了： 2024年 9月 26日 15:12 应该快完成了
加i除以1.44
其它不提升的情况下大概可以搞到18-20nm
但是如果同时伴随着分辨率和套刻精度的提升
做到14nm就很容易了
7nm也不遥远
#9 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:17
就是65nm
#10 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:25
因为鳖目前要对抗美欧日韩台整个联盟，没有100％纯国产零部件就代表不及格
#11 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:28
当年intel 没走通的路, 不代表不可行. 此一时彼一时了
#12 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:37
DUV增加NA，同时把水换成油
这是油管的问题先生提出的，他说自己请教过半导体行业中的大神，超级DUV性能比肩EUV，成本大概只有1/4
#13 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:40
提高NA就是增大透镜吗？
#14 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:43
现在是浸水或者油实现
#15 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:45
水是增加折射率。和na不是一回事。
据说镜头非常重。加大更重
#16 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 15:57
光源波长是193纳米 , 如何实现分辨率65纳米? 好奇
#17 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 16:09
#18 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 16:14
#19 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 16:16
Interesting.
#20 Re: 65nm光刻机最高能制造多少nm的芯片？
发表于 ： 2024年 9月 26日 16:18
所以平移精度和光学精度都是14nm的设备，只要其中之一达到7nm，就能刻出7nm线宽的芯片