我对国内EUV表示谨慎怀疑，因为

[none]

EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。

7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。

但现在谈EUV，是不是有点早？

[Scraper]

啥是分子玻璃光刻胶？

[none]

分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。

啥是分子玻璃光刻胶？

[gousheng]

同步进行有啥问题，早晚的事。等光源解决了，光刻胶也差不多了

EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。

7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。

但现在谈EUV，是不是有点早？

[retry]

这个应该是憋了好久一直在弄的。光源跟ASML的不同， 那胶是不是跟ASML 一样的都两说。
被霉蒂掐死前， 体积巨大没法市场化。 现在掐死了， 市场有了。就都上了。

[StMichael]

这个多试试就出来了吧。

双健数目加加减减

分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。

[wildthing]

EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。

7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。

但现在谈EUV，是不是有点早？

有钱能使鬼推磨
知道技术的人也许已经悄悄地贡献了配方
这无非是个化学工艺问题

[superdsb]

为啥PMMA不能用euv?

分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。

[sdehc]

“arfi及以下光刻胶没啥难题了，华为能大规模卖9000s芯片的产品就是明证。光刻胶保质期才三个月，必定是有稳定靠谱的国产光刻胶生产商了，而且，我恰恰还知道是哪家。euv光刻胶的难题是国内还没有euv光刻机，没有调试环境，不过还是我说的那家，他们还是世界光刻胶第一巨头Jsr的euv光刻胶单体供应商，euv光刻胶大概率和国产euv光刻机同步调试，不信等着看好了。所以，小日本当官的脑子怕是进水了，为了效忠美国主子，拖慢我们的进展，不惜坑自己人。Jsr是懂的，也是反对的，要不然怎么被国有化收购呢？收购后日本政府卖的是国，收购前可是割人家Jsr股东的肉。

作者：哗啦啦
链接：https://www.zhihu.com/question/34976672 ... 3205938913“

[sdehc]

这个是国产ArFi光刻胶：
http://www.bcpharma.com/products1/typeid/1.html

[Caravel]

EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。

7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。

但现在谈EUV，是不是有点早？

你是化学方向的么？消息不灵通啊

[none]

我是消息太灵通了。
我不说话。

你是化学方向的么？消息不灵通啊

[xiaoju]

中国也研究了20多年的EUV光刻机，不存在任何一个空白领域

EUV用的光刻胶在国内完全没有影的事。
你们可能不懂，需要用的是分子玻璃光刻胶，
这一块国内空白。

7 nm可以使用ArFi实现。
这个还是DUV范畴。
最近讨论的光刻厂，
从物理上我看没什么问题，
从效率上也不是大事。

但现在谈EUV，是不是有点早？

[tywodx]

这个话题很敏感，真正知道点东西的人根本不敢说话。这阵子大造声势抓贱谍不是没原因的，一个芯片，一个登月，要不惮于用最大的恶意揣测那个国家的下三滥

[superdsb]

none没的说错
配方这玩意儿是工艺的一部分
没有euv 就没办法调配方
而且每台euv上的配方都可能有差别
这个要原料供应商驻厂
和研发工程师一起搞才有结果
所以还是任重道远

[StMichael]

这有啥道远的

ASML的EUV出来一共也没几年(第一台样机2006）。

对应的光刻胶当然不可能有多难搞出来。

none没的说错
配方这玩意儿是工艺的一部分
没有euv 就没办法调配方
而且每台euv上的配方都可能有差别
这个要原料供应商驻厂
和研发工程师一起搞才有结果
所以还是任重道远

[wanmeishijie]

分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。

不愧是轮胎橡胶大学出来的，专业！

[retry]

这有啥道远的

ASML的EUV出来一共也没几年(第一台样机2006）。

对应的光刻胶当然不可能有多难搞出来。

第一台 euv release 不是 2016 么？ 样机那么早？

[StMichael]

Having seen what was possible, in 2001 ASML assigned a small group of people and modest resources to build a prototype EUV system. The team achieved their goal in 2006, when the first EUV prototypes were shipped to imec in Belgium and SUNY (College of Nanoscale Science & Engineering) in Albany, New York.Mar 30, 2022
https://www.asml.com › ... › News
Making EUV: from lab to fab – Stories - ASML

第一台 euv release 不是 2016 么？ 样机那么早？

[Amorphous]

分子玻璃是一种具有较高玻璃态转变温度的小分子有机化合物，集聚合物与小分子的优点于一身。
常见的分子玻璃类化合物包括支化型、四面体型、树枝状型、杯芳烃、富勒烯、多元酚和聚噻吩等。

这种还真不是高精尖，完全可以大炼光刻胶，通过人民战争取得成功