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版主： Softfist
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orangedot（明月清风）
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由 orangedot（明月清风） »
none 写了： 2023年 9月 15日 10:59
唐传祥可能不太了解光刻胶，简单化了。
这玩意不是说你加大紫外线功率就能对没那么敏感的光刻胶产生同样的效果的。
resolution和对比度/陡度这些参数，紫外线能量高了会导致降低，
没那么容易调的。
这个就是高分子材料嘛，生化环材坑了不少中国理科生，但是人才储备应该是有的
这一块没有高深没人懂的理论，就是个工程问题，有市场，有钱，有时间，有人才，很快会出来的
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由 newIdRobot（新器人） »
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由 newIdRobot（新器人） »
阮富仲 写了： 2023年 9月 15日 00:06
这是清华大学化工系基本有机合成专业高材生包书的强项
总书记亲自指导亲自部署
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none楼主
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由 none楼主 »
说起来都不难，
但材料这种东西，
能做和能做好，是两码事。
别人做的密封圈就是能不漏，
你做的就不行。
orangedot 写了： 2023年 9月 15日 11:04
这个就是高分子材料嘛，生化环材坑了不少中国理科生，但是人才储备应该是有的
这一块没有高深没人懂的理论，就是个工程问题，有市场，有钱，有时间，有人才，很快会出来的
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krzkrz
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由 krzkrz »
none 写了： 2023年 9月 15日 21:58
说起来都不难，
但材料这种东西，
能做和能做好，是两码事。
别人做的密封圈就是能不漏，
你做的就不行。
对对对
丑国的月亮都更圆
1450殖人轮逼语录系列：
叔的凤凰卫视高层朋友告诉我 只要菊花一晚 就能告诉我秦刚内幕
- 纯属虚构 如有雷同 必为巧合 切勿对号入座
VladPutin是我爹 我以我爹赐名为荣
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洋人有特权，白妞特权还高一些。这要是黄妞，早被当地公安跨省了
中国不敢公布 所以证明中国基尼系数越来越高
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由 resso »
superdsb 写了： 2023年 9月 14日 23:46
为啥PMMA不能用euv?
因为radical会扩散。
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resso
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由 resso »
orangedot 写了： 2023年 9月 15日 11:04
这个就是高分子材料嘛，生化环材坑了不少中国理科生，但是人才储备应该是有的
这一块没有高深没人懂的理论，就是个工程问题，有市场，有钱，有时间，有人才，很快会出来的
高分子理论你确定好懂？？？？？？？？？？？
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由 orangedot（明月清风） »
none 写了： 2023年 9月 15日 21:58
说起来都不难，
但材料这种东西，
能做和能做好，是两码事。
别人做的密封圈就是能不漏，
你做的就不行。
不漏的密封圈中国肯定能造出来，狗儿子SOD的祖国印度八成是造不出来的
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superdsb（超级大傻逼）
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由 superdsb（超级大傻逼） »
为啥euv扩散duv 不扩散？
resso 写了： 2023年 9月 15日 22:09
因为radical会扩散。
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由 none楼主 »
我师兄现在就在负责这个事。
resso 写了： 2023年 9月 15日 22:09
因为radical会扩散。
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resso
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由 resso »
superdsb 写了： 2023年 9月 15日 22:11
为啥euv扩散duv 不扩散？
你大爷的，都扩散。你们这啥呀
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resso
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由 resso »
none 写了： 2023年 9月 15日 22:13
我师兄现在就在负责这个事。
这事还是不太好弄，虽然我不知道photoresist的厚度，但是不让自由基横向扩散3nm还是挺挑战的
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Caravel
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由 Caravel »
none 写了： 2023年 9月 15日 21:58
说起来都不难，
但材料这种东西，
能做和能做好，是两码事。
别人做的密封圈就是能不漏，
你做的就不行。
材料算简单的了，新闻上都公开了，2018年就做出来验收了
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superdsb（超级大傻逼）
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由 superdsb（超级大傻逼） »
PMMA不是duv常用正胶吗？
为啥euv 就不能用了？
resso 写了： 2023年 9月 15日 22:14
你大爷的，都扩散。你们这啥呀
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none楼主
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由 none楼主 »
也不是PMMA，是三嵌段共聚物。
甲基丙烯酸甲酯（MMA）、甲基丙烯酸丁酯（TBMA）和甲基丙烯酸（MAA）三元共聚物，
其中甲基丙烯酸丁酯起到了光致产酸剂的作用。
这个玩意考验精准控制，用阴离子聚合做的。
superdsb 写了： 2023年 9月 15日 22:18
PMMA不是duv常用正胶吗？
为啥euv 就不能用了？
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resso
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由 resso »
superdsb 写了： 2023年 9月 15日 22:18
PMMA不是duv常用正胶吗？
为啥euv 就不能用了？
因为刻的越精细，对扩散的控制要求越高啊
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由 superdsb（超级大傻逼） »
为啥非要用嵌段聚合物
麻痹都有maa了为啥还要光致产酸鸡
啥逻辑
none 写了： 2023年 9月 15日 22:20
也不是PMMA，是三嵌段共聚物。
甲基丙烯酸甲酯（MMA）、甲基丙烯酸丁酯（TBMA）和甲基丙烯酸（MAA）三元共聚物，
其中甲基丙烯酸丁酯起到了光致产酸剂的作用。
这个玩意考验精准控制，用阴离子聚合做的。
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由 none楼主 »
尼玛。。。光致产酸剂才是photoresist的核心啊。。。
为什么要用嵌段聚合物，肯定是经过多次配方测试综合性质的。。。。
superdsb 写了： 2023年 9月 15日 22:23
为啥非要用嵌段聚合物
麻痹都有maa了为啥还要光致产酸鸡
啥逻辑
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resso
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由 resso »
superdsb 写了： 2023年 9月 15日 22:23
为啥非要用嵌段聚合物
麻痹都有maa了为啥还要光致产酸鸡
啥逻辑
你这个分子可能相分离，尼玛，可能一个相就几个纳米了。此外，我没有看到做嵌段共聚物的合理性。无规共聚不行吗
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superdsb（超级大傻逼）
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由 superdsb（超级大傻逼） »
确实看不出嵌段聚合物的合理性
resso 写了： 2023年 9月 15日 22:27
你这个分子可能相分离，尼玛，可能一个相就几个纳米了。此外，我没有看到做嵌段共聚物的合理性。无规共聚不行吗
