给大家说说清华那个为啥王八蛋euv 不会有前途

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版主: Softfist

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Re: 给大家说说清华那个为啥王八蛋euv 不会有前途

帖子 萧武达(shiaovd) »

resso 写了: 2023年 9月 17日 03:40 杀鸡用牛刀,再说国内光刻机未必是光源不行。
这个就不知道了,需要业内人士指点
从光源的稳定定性和强度 同步辐射的SSMB应该好于其他一切技术
dreamig
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Re: 给大家说说清华那个为啥王八蛋euv 不会有前途

帖子 dreamig »

SSMB到底是什么缩写?
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Re: 给大家说说清华那个为啥王八蛋euv 不会有前途

帖子 萧武达(shiaovd) »

dreamig 写了: 2023年 9月 17日 05:39 SSMB到底是什么缩写?
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Re: 给大家说说清华那个为啥王八蛋euv 不会有前途

帖子 dreamig »

萧武达 写了: 2023年 9月 17日 07:07 Steady-State MicroBunching
这个要是搞成了,应该是诺奖级别的工作吧
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Re: 给大家说说清华那个为啥王八蛋euv 不会有前途

帖子 萧武达(shiaovd) »

dreamig 写了: 2023年 9月 17日 08:07 这个要是搞成了,应该是诺奖级别的工作吧
不至于,同步加速器是成熟的, 可以输出各种不同波长的射线(光)-纯粹是怎么应用的问题,需要把光刻机集群化, 一旦光刻没有需求了,光刻机报废‘加速器还可以改作其他用途, -加速器的应用面很广,
据说SSMB
“可以省去大量的控光组件,大幅精简控光系统,降低系统的复杂性和能量损失,实现更高的可靠性和更高的能耗比。得益于同步辐射原理,SSMB光源的波长可调,理论上从红外线到X光可以自由调节,想要什么光就可以调出什么光,由于SSMB的高输出功率,一台SSMB光源可以同时供应多台光刻机生产,产能可以比LPP高出几个数量级。”

平均成本应该被考虑过了
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