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版主： Softfist
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idea911（let_rr）楼主
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由 idea911（let_rr）楼主 »
懂的来说说
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ssskof2002（闪电五连鞭）
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由 ssskof2002（闪电五连鞭） »
好像是28nm
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Puerto Rico（Rick）
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由 Puerto Rico（Rick） »
根据Nyquist原理, 65纳米的分辨率, 线宽是其一半, 32纳米, 刻蚀的时候会让宽度减少一些, 达到28纳米
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fanqie
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由 fanqie »
Puerto Rico 写了： 2024年 9月 26日 15:05
根据Nyquist原理, 65纳米的分辨率, 线宽是其一半, 32纳米, 刻蚀的时候会让宽度减少一些, 达到28纳米
进一步到ArFi 难度还有多大?
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PPTT123（大熊猫）
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由 PPTT123（大熊猫） »
fanqie 写了： 2024年 9月 26日 15:08
进一步到ArFi 难度还有多大?
这个65纳米的就是SSA800的上一代，早出来一年，现在已经零部件100％国产化了
SSA800会在明年达到零部件100％国产化
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yokel（uuuu）
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由 yokel（uuuu） »
fanqie 写了： 2024年 9月 26日 15:08
进一步到ArFi 难度还有多大?
应该快完成了
加i除以1.44
其它不提升的情况下大概可以搞到18-20nm
但是如果同时伴随着分辨率和套刻精度的提升
做到14nm就很容易了
7nm也不遥远
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fanqie
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由 fanqie »
PPTT123 写了： 2024年 9月 26日 15:11
这个65纳米的就是SSA800的上一代，早出来一年，现在已经零部件100％国产化了
SSA800会在明年达到零部件100％国产化
台积电当年花了2年时间, 大陆应该不需要这么长时间.无非现在就是要求100%可控
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wildthing
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由 wildthing »
yokel 写了： 2024年 9月 26日 15:12
应该快完成了
加i除以1.44
其它不提升的情况下大概可以搞到18-20nm
但是如果同时伴随着分辨率和套刻精度的提升
做到14nm就很容易了
7nm也不遥远
据说现在的一个方向是DUV + very high NA
司马光在《资治通鉴》中说日本人：'知小礼而无大义，拘小节而无大德。重末节而无廉耻，畏威而不怀德。强必盗寇，弱必卑伏'。
康熙皇帝在《康熙朝起居注》中这样评论日本人：“倭子国，最是反复无常之国。其人，甚卑贱，不知世上有恩谊，只一味慑于武威……故尔，不得对其有稍许好颜色。”
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由 wanmeishijie（石昊） »
就是65nm
理解了老将是代入狗的视角之后，你就理解了老将
viewtopic.php?t=120513
理解了它们是代入狗的视角之后，它们为什么会嘲笑不愿意当狗的人，以及为什么会害怕想要反抗的人，就都可以理解了：
“放着好好的狗不当”
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PPTT123（大熊猫）
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由 PPTT123（大熊猫） »
fanqie 写了： 2024年 9月 26日 15:15
台积电当年花了2年时间, 大陆应该不需要这么长时间.无非现在就是要求100%可控
因为鳖目前要对抗美欧日韩台整个联盟，没有100％纯国产零部件就代表不及格
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fanqie
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由 fanqie »
wildthing 写了： 2024年 9月 26日 15:16
据说现在的一个方向是DUV + very high NA
当年intel 没走通的路, 不代表不可行. 此一时彼一时了
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PPTT123（大熊猫）
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由 PPTT123（大熊猫） »
wildthing 写了： 2024年 9月 26日 15:16
据说现在的一个方向是DUV + very high NA
DUV增加NA，同时把水换成油
这是油管的问题先生提出的，他说自己请教过半导体行业中的大神，超级DUV性能比肩EUV，成本大概只有1/4
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wildthing
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由 wildthing »
PPTT123 写了： 2024年 9月 26日 15:37
DUV增加NA，同时把水换成油
这是油管的问题先生提出的，他说自己请教过半导体行业中的大神，超级DUV性能比肩EUV，成本大概只有1/4
提高NA就是增大透镜吗？
司马光在《资治通鉴》中说日本人：'知小礼而无大义，拘小节而无大德。重末节而无廉耻，畏威而不怀德。强必盗寇，弱必卑伏'。
康熙皇帝在《康熙朝起居注》中这样评论日本人：“倭子国，最是反复无常之国。其人，甚卑贱，不知世上有恩谊，只一味慑于武威……故尔，不得对其有稍许好颜色。”
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由 midlander »
wildthing 写了： 2024年 9月 26日 15:40
提高NA就是增大透镜吗？
现在是浸水或者油实现
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wildthing
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由 wildthing »
水是增加折射率。和na不是一回事。
据说镜头非常重。加大更重
司马光在《资治通鉴》中说日本人：'知小礼而无大义，拘小节而无大德。重末节而无廉耻，畏威而不怀德。强必盗寇，弱必卑伏'。
康熙皇帝在《康熙朝起居注》中这样评论日本人：“倭子国，最是反复无常之国。其人，甚卑贱，不知世上有恩谊，只一味慑于武威……故尔，不得对其有稍许好颜色。”
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Puerto Rico（Rick）
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由 Puerto Rico（Rick） »
光源波长是193纳米 , 如何实现分辨率65纳米? 好奇
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
Puerto Rico 写了： 2024年 9月 26日 15:57
光源波长是193纳米 , 如何实现分辨率65纳米? 好奇
用工件高精度平移来实现
看我画的
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PPTT123（大熊猫）
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由 PPTT123（大熊猫） »
wildthing 写了： 2024年 9月 26日 15:40
提高NA就是增大透镜吗？
提高分辨率，应该是的吧
阿斯麦那个最新的EUV也是提高NA，从13.5纳米提高到了8纳米
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Puerto Rico（Rick）
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由 Puerto Rico（Rick） »
弃婴千枝 写了： 2024年 9月 26日 16:09
用工件高精度平移来实现
看我画的
Interesting.
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弃婴千枝
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由 弃婴千枝 »
所以平移精度和光学精度都是14nm的设备，只要其中之一达到7nm，就能刻出7nm线宽的芯片
