EUV光刻机迎来国产新时代，哈工大极紫外光源立大功！

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https://www.sohu.com/a/845762854_121327251

近日，哈尔滨工业大学（简称“哈工大”）传来振奋人心的消息，该校成功研发出13.5nm极紫外光源，为EUV光刻机的制造迎来了曙光。

[TheMatrix]

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近日，哈尔滨工业大学（简称“哈工大”）传来振奋人心的消息，该校成功研发出13.5nm极紫外光源，为EUV光刻机的制造迎来了曙光。

嗯。这个听说了。

但是目前应该还是属于高校科研阶段。应该离工业化还很远。

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公开信息显示，哈尔滨工业大学负责的DPP-EUV光源已经达到实用化的120W的水平，这相当不容易。虽然DPP整体方案看似比LPP简单得多，但当年Cymer无法提升功率只好放弃DPP转向LPP。2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研了EUV光源，相信这是结合哈工大DPP EUV光源和长春光机所的高精度弧形反射镜系统的EUV光源工程样机。DPP方案可以避开当前LLP-EUV的专利壁垒，同时与未来的加速器光源方案有一定的继承性。

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