国产28nm DUVi 的国产超精密激光干涉仪

[foofy]

应用于国产28nm DUVi 的国产超精密激光干涉仪。能满足掩模工件台、硅片双工件台和投影物镜之间复杂的相对位置、姿态测量需求，保证光刻机的整体套刻精度。

[foofy]

有请耗子

[hhcare]

不懂
看着挺复杂
其实应该是没啥

[foofy]

不懂
看着挺复杂
其实应该是没啥

你不是光刻机专家吗？这是替代进口的美国干涉仪

[Hankers]

楼主泄密了还是公开资料？很久没国内光刻机的公开信息了。

[foofy]

楼主泄密了还是公开资料？很久没国内光刻机的公开信息了。

这是smee内部人士奉旨泄密。应该快量产了。

[newIdRobot]

不懂
看着挺复杂
其实应该是没啥

你在cymer都学了啥？怎么本专业的东西都不懂？

[ssskof2002]

耗子来解读一下，这是128nm的？

[StokesTheorem]

这是smee内部人士奉旨泄密。应该快量产了。

那稳了

[hhcare]

干涉仪在控制位置上有很多应用， 就是个测量精确， repeatability的问题， 还有范围。
各种东西， 方法都可以达到类似的结果。
没啥技术含量。

光刻机的关键肯定只是镜头。 其他都是小意思。
可惜我没有做过光刻机镜头， 这个都是蔡司控制的。。
国内攻关的关键在镜头。 设计好了就容易生产。 没有其他路子可走。

[TheMatrix]

干涉仪在控制位置上有很多应用， 就是个测量精确， repeatability的问题， 还有范围。
各种东西， 方法都可以达到类似的结果。
没啥技术含量。

光刻机的关键肯定只是镜头。 其他都是小意思。
可惜我没有做过光刻机镜头， 这个都是蔡司控制的。。
国内攻关的关键在镜头。 设计好了就容易生产。 没有其他路子可走。

现在镜头还是玻璃的？

[octane]

这里头不光包括离线调试xyzr的精度，也包括在线控制。因为两个工件台必须实时跟踪，眼膜工件台还要预先到位以提高吞吐率，所以要用干涉仪实时监控和计算距离误差，并把误差反馈给主动减震系统

单独干涉仪没有啥，整个系统调试和预先设计还是要点功夫的。尤其是镜头离轴精度控制，这关系到投在片子上的图形是否变形太多。如果上微现在才做到单独干涉仪精度达标，还有很多事情要做

[foofy]

这里头不光包括离线调试xyzr的精度，也包括在线控制。因为两个工件台必须实时跟踪，眼膜工件台还要预先到位以提高吞吐率，所以要用干涉仪实时监控和计算距离误差，并把误差反馈给主动减震系统

单独干涉仪没有啥，整个系统调试和预先设计还是要点功夫的。尤其是镜头离轴精度控制，这关系到投在片子上的图形是否变形太多。如果上微现在才做到单独干涉仪精度达标，还有很多事情要做

你没看我第一楼的内容吗？

[sanguan]

白畜想在技术上卡中国的脖子, 是猪油蒙了心

古代所有复杂的东西, 瓷器, 炸药, 造纸, 都是中国人发明的

中国技术上最大的问题是买办, 美国制裁打的就是买办

[007航母]

文盲，中国古代不懂数学几何机械，精密个头

瓷器丝绸都靠的是特产原材料

白畜想在技术上卡中国的脖子, 是猪油蒙了心

古代所有复杂的东西, 瓷器, 炸药, 造纸, 都是中国人发明的

中国技术上最大的问题是买办, 美国制裁打的就是买办

[sanguan]

瓷器, 炸药, 造纸, 都是需要几种原料结合起来, 步骤复杂,白畜那个时候, 都是用羊皮作纸

[007航母]

文盲，步骤复杂个头

而且天朝有球的炸药，只有黑火药，道士炼丹瞎蒙死耗子，精密个头

瓷器, 炸药, 造纸, 都是需要几种原料结合起来, 步骤复杂,白畜那个时候, 都是用羊皮作纸

[octane]

你没看我第一楼的内容吗？

哦，刚看了。那张信号线路图还是别人的，应该搞一个全中文的

[octane]

白畜想在技术上卡中国的脖子, 是猪油蒙了心

古代所有复杂的东西, 瓷器, 炸药, 造纸, 都是中国人发明的

中国技术上最大的问题是买办, 美国制裁打的就是买办

没错。大鸡精那帮人就是买办，拼命地花巨资买生产线，却不愿意花10%资金研发，耗子这样的人都回不去

[sanguan]

你不认为瓷器造纸火药复杂是因为你无知

瓷器火药都需要集中原料混合起来, 瓷器将瓷胎的原料——高岭土、瓷石经过磨洗、除杂揉匀后，调和成用于制作瓷器的瓷泥, 然后製坯, 然后上釉

火药需要氧化剂跟还原剂混合起来, 不是中国发明出来的, 白畜几百年也搞不出来, 白畜后面搞的, 不过是优化氧化剂还原剂而已