中国光刻机突破的原因揭晓了!

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版主: Softfist

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konichiwa楼主
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#1 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 konichiwa楼主 »

Asml 光刻机通过十几面透镜
造成能量大量损失

中国通过数学方法直接修改镜面形状,减少透镜数量

利用低功率光源实现相同效果。


23分
这就解释了弃婴大师几年前指出的光源功率才是中国最大短板

看我之前的帖子,为什么透镜数目这么多
[url=[url=[url=viewtopic.php?t=710320&hilit=%E5%85%89% ... B%E6%A9%9F

谢勇彻底完蛋了

中国通过数学方法绕开了最大障碍]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]

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yugong
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#2 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 yugong »

完了,耗子找不到高薪工作了

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piyandaomo
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#3 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 piyandaomo »

耗子转稀土提炼还来得及吗

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民主自由是婊子的遮羞布(谁的帝)
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#4 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 民主自由是婊子的遮羞布(谁的帝) »

耗子连在买提发言都没有资格了

太惨了

2379897044(云晚舟)
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#5 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 2379897044(云晚舟) »

看清楚了,我只教一次,中国光刻机用的是温天仁的八门通光镜。
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foofy(自带干粮五毛)
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#6 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 foofy(自带干粮五毛) »

说个不靠谱的。固态激光器

Linjiaojiao
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#7 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 Linjiaojiao »

正确方法是把mask设计为弯的 经过相差变成正的 歪打正着
除了几个缩小的镜子外 哈都不用 最省功率

007航母
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#8 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 007航母 »

通过数学方法改变形状

是啥球意思

数学气功?

konichiwa 写了: 2025年 10月 14日 05:38

Asml 光刻机通过十几面透镜
造成能量大量损失

中国通过数学方法直接修改镜面形状,减少透镜数量

利用低功率光源实现相同效果。


23分
这就解释了弃婴大师几年前指出的光源功率才是中国最大短板

看我之前的帖子,为什么透镜数目这么多
[url=[url=[url=[url=viewtopic.php?t=710320&hilit=%E5%85%89% ... B%E6%A9%9F

谢勇彻底完蛋了

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]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]

konichiwa楼主
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#9 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 konichiwa楼主 »

功率不够

关键在于反射系数太多

只要减少透镜数量就能降低光源功率需要

foofy 写了: 2025年 10月 14日 06:37

说个不靠谱的。固态激光器

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#10 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 fanqie »

菲涅尔透镜? 精度能达到吗?

DollarMore(每年个位加个零)
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#11 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 DollarMore(每年个位加个零) »

007航母 写了: 2025年 10月 14日 09:47

通过数学方法改变形状

是啥球意思

数学气功?

]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]

非球面镜。

没想到 西方人这么蠢,所谓的高科技 都是拿老技术对付,用一天是一天

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fanqie
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#12 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 fanqie »

DollarMore 写了: 2025年 10月 14日 10:29

非球面镜。

没想到 西方人这么蠢,所谓的高科技 都是拿老技术对付,用一天是一天

聪明的人现在还有几个干工科的?

007航母
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#13 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 007航母 »

非球面镜

原来是你鳖用数学气功发明的

你憋牛叉

DollarMore 写了: 2025年 10月 14日 10:29

非球面镜。

没想到 西方人这么蠢,所谓的高科技 都是拿老技术对付,用一天是一天

弃婴千枝
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#14 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!

帖子 弃婴千枝 »

foofy 写了: 2025年 10月 14日 06:37

说个不靠谱的。固态激光器

固态物质受限于能带结构,一般只能产生几个电子伏特能量的光子
比如半导体激光器最多也就5个eV的光子

高能光子要么是气体激光(比如excimer,十几个eV),
或者加速器驱动的自由电子激光器(可以高到MeV)

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