尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

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版主: Softfist

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soric_real(soric)楼主
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尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 soric_real(soric)楼主 »

从1981年的g-line,到2004年193nm的ArF。我鳖目前能够达到什么水平?

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soric_real(soric)楼主
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 soric_real(soric)楼主 »

也许尼康的镜头设计来自日本光学咨询公司Akira Yabe? Jim博士收集的资料真不错

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mesofish(小矇瞽)
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 mesofish(小矇瞽) »

难度主要在哪里?是材料,镜头制造,还是设计?
soric_real(soric)楼主
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 soric_real(soric)楼主 »

这是下一个课题了,EUV镜头用的就是非球面反射镜。我鳖学习or挑战的对象也变成了蔡司。
VladPutin 写了: 2023年 3月 3日 11:37 看着就很愚蠢,直接用一面非球面反射镜可代替这一堆笨重的镜头。
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octane
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 octane »

soric_real 写了: 2023年 3月 3日 11:45 这是下一个课题了,EUV镜头用的就是非球面反射镜。我鳖学习or挑战的对象也变成了蔡司。
一面非球面透镜或者反射镜是不够的,要求的指标不仅仅是放大倍数,还有相差、光强均匀度等

确实,蔡司的模拟是我憋无法逾越的。耗子号称能做模拟,也是在别人基础上
zmimy(mimi)
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 zmimy(mimi) »

耗子嗤之以鼻

使用一面推臀式反射镜解决所有问题
coinage
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 coinage »

反射镜加透镜非常有助于消象差.不过euv没有合适透镜材料是主因吧.如果以后要走euv的路,可以放弃透镜路线.
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 hhcare(钟馗) »

octane 写了: 2023年 3月 3日 11:49 一面非球面透镜或者反射镜是不够的,要求的指标不仅仅是放大倍数,还有相差、光强均匀度等

确实,蔡司的模拟是我憋无法逾越的。耗子号称能做模拟,也是在别人基础上
还有比你这更废话的吗?
牛顿也是踩在巨人肩膀上啊
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 弃婴千枝 »

nikon不行了

你看看最新的双目望远镜就知道了,这些都是可以花钱买到并做对比的

nikon在光学领域对新技术的追求,就像大日本帝国的手机产品一样搞笑
mesofish(小矇瞽)
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 mesofish(小矇瞽) »

octane 写了: 2023年 3月 3日 11:49 一面非球面透镜或者反射镜是不够的,要求的指标不仅仅是放大倍数,还有相差、光强均匀度等

确实,蔡司的模拟是我憋无法逾越的。耗子号称能做模拟,也是在别人基础上
所以主要问题是拟真和设计?
听起来跟风洞的情况有相似之处
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octane
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 octane »

hhcare 写了: 2023年 3月 3日 11:53 还有比你这更废话的吗?
牛顿也是踩在巨人肩膀上啊
那么某天蔡司的软件或者其他软件不让黄皮用了怎么办?你们应该有人好好学一学怎么用麦克斯韦尔方程编程模拟光线,然后反推最优化光学器件。这些基础软件才是我憋应该做的,成天叫嚣着要搞基础科学
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octane
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 octane »

mesofish 写了: 2023年 3月 3日 11:55 所以主要问题是拟真和设计?
听起来跟风洞的情况有相似之处
都有。我老不能说太多,说得越多某些人(不是指耗子这样的)就越难受
xloud
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 xloud »

octane 写了: 2023年 3月 3日 12:00 都有。我老不能说太多,说得越多某些人(不是指耗子这样的)就越难受
拟真的难点在哪里?

光线理论无论是经典还是量子不早都研究透透了吗

写个软件的难度在哪里呢?
mesofish(小矇瞽)
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 mesofish(小矇瞽) »

xloud 写了: 2023年 3月 3日 12:06 拟真的难点在哪里?

光线理论无论是经典还是量子不早都研究透透了吗

写个软件的难度在哪里呢?
我也不太明白
CFD还有激波湍流之类的玩意儿不好算
光也有这些东西吗?
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octane
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 octane »

xloud 写了: 2023年 3月 3日 12:06 拟真的难点在哪里?

光线理论无论是经典还是量子不早都研究透透了吗

写个软件的难度在哪里呢?
光场解决方案框架有好些,也算论文热点。所以还不算是早就研究透透的
xloud
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 xloud »

octane 写了: 2023年 3月 3日 12:08 光场解决方案框架有好些,也算论文热点。所以还不算是早就研究透透的
简单粗暴的类似ray tracing这样的不行吗?
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octane
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 octane »

xloud 写了: 2023年 3月 3日 12:10 简单粗暴的类似ray tracing这样的不行吗?
不行。那是以前的近似方案。当波长和阻挡物大小接近时候,情况就很复杂
soric_real(soric)楼主
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Re: 尼康1981-2004光刻机镜头迭代图

帖子 soric_real(soric)楼主 »

听着感觉像是做Matlab啊
octane 写了: 2023年 3月 3日 11:58 那么某天蔡司的软件或者其他软件不让黄皮用了怎么办?你们应该有人好好学一学怎么用麦克斯韦尔方程编程模拟光线,然后反推最优化光学器件。这些基础软件才是我憋应该做的,成天叫嚣着要搞基础科学
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