［转载］中国光刻机发展的真实情况（上海微电子28nm DUV光刻设备都是错误的谣言 )

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中国光刻机发展的真实情况（上海微电子28nm DUV光刻设备都是错误的谣言 ) 只看楼主

1#sinowarrior
收藏2022-7-4 13:36:24
本帖最后由 sinowarrior 于 2022-7-24 08:46 编辑

在中国众多新闻中广泛流传的关于 上海微电子28nm DUV 光刻设备的消息，可知我的内部消息，所有这些都是错误的谣言 。
下表是过去的旧产品 ( 单工作台 )。根据客户的反馈，这些机器都不能正常工作。 良率太低了。


ArFi / ArF / krF / i-line ArFi , i=immersion , 浸没 i-line oldest 最老的


过去的产品都是单 工作平台 的，最古老的技术是i-line，即使这样也行不通，根据客户的要求良率太低。无法制造。客户正在卸载这些机器

北京华卓精 干式步进式扫描光刻机，目前已向上海微电子完成交付;DWSi 系 列双工件台适用于浸没式光刻机，目前仍处于研发阶段。


北京华卓精 发送 四 个 干式 双工作平台 上海微电子 正在生产 SSX800 系列。所有 双工件台 扫描仪。 SSB800 是 双工件台 iLine。 SSC800 是 双工件台 KrF。


上海微电子 重新设计并将所有过去的 客户无法接受 单工作平台 光刻设备转换为双工作平台

双工作平台 更难控制。如果单工作平台不能工作，那么双工作平台很可能不能工作

上海微电 子仅关注过重新设 计旧光刻设备 (KrF, i-line) 上海微电子28nm DUV(ArFi) 光刻设备都是错误的谣言

形势不容乐观，中央政府必须介入控制，不能让 上海微电子 只有自己研究. 必须有更多的人和组织 ( 中国电子科技, 更多大学) 参与.

必须让 更多的人交叉检查上海 电子单工作平台 光刻设备 并找到解决方案为什么不工作.

不要专注于 双工作平台因为它要复杂得多




Past product are all single staged and oldest technology is i-line and even that doesn't work, yield too low according to customer. Unable for manufacturing. Customer are deinstalling those machine

主要技术参数 上海微电子
型号
SSA600/20
SSC600/10
SSB600/10
分辨率
90nm
110nm
280nm
曝光光源
ArF excimer laser
KrF excimer laser
i-line mercury lamp
镜头倍率
1:4
1:4
1:4
硅片尺寸
200mm或300mm
200mm或300mm
200mm或300mm



In many chinese news there is wide circulation about 28nm DUV lithography equipment by SMEE. Based on my inside industry source, all those are false.





Below is a list I recited from memory for current available FE IC litho tool specifications:
Wavelength NA (max) (min) Resolution Limit rated/specified by supplier Supplier
193nm 1.35 38nm Nikon & ASML
193nm 0.93 65nm Nikon & ASML
248nm 0.93 80nm ASML
248nm 0.86 90nm Canon
248nm 0.80 110nm ASML
363nm 0.65 350nm ASML
363nm 0.57 350nm Canon



















2#J_YL
2022-7-4 16:10:11
上海微电子承接的光刻机项目堪称02专项中最大败笔

3#sinowarrior
2022-7-4 16:26:40
引用: J_YL 发表于 2022-7-4 16:10
上海微电子承接的光刻机项目堪称02专项中最大败笔

上海微电子 完全没有资格

没有一旧的前端光刻设备可以工作。 28nm，算了!

4#J_YL
2022-7-4 16:31:00
引用: sinowarrior 发表于 2022-7-4 16:26
上海微电子 完全没有资格

没有一旧的前端光刻设备可以工作。 28nm，算了!

这么多年投入了大量人力物力财力，几乎没有可以拿得出手的东西

5#sinowarrior
2022-7-4 17:17:19
引用: J_YL 发表于 2022-7-4 16:31
这么多年投入了大量人力物力财力，几乎没有可以拿得出手的东西

政府应强制将 上海微电子 较旧的光刻机硬件和软件开源给业内其他人以及所有大学 学习 。
通过这种方式， 更广泛的受众可以查看它，并可能更改以使其发挥作用



我也说一句