叔这个科普将军们不怎么待见。
前几天看到8nm套刻就弹冠相庆，连耗子都跟着起哄
现在在转国内的“理智”分析
尼玛国内也是看了叔的讲解才写出来
………………
狂赞
科普一下分辨率，套刻，线宽， 和双重曝光
版主： Softfist
-
wanmeishijie（石昊）
- 论坛元老
wanmeishijie 的博客 - 帖子互动： 2132
- 帖子： 69433
- 注册时间： 2022年 12月 10日 23:58
#23 Re: 科普一下分辨率，套刻，线宽， 和双重曝光
理解了老将是代入狗的视角之后，你就理解了老将
viewtopic.php?t=120513
理解了它们是代入狗的视角之后，它们为什么会嘲笑不愿意当狗的人，以及为什么会害怕想要反抗的人，就都可以理解了：
“放着好好的狗不当”
#25 Re: [转载] 国内（2023年）的先进光刻机数量（非存储）
truth 写了： 2024年 9月 16日 16:53 NA: Numerical Apperture, ArF: Argon Fluoride, MMO: Mix & Match Overlay, WPH: Wafers Per Hour
这图上也有明显的错误，如EUV的型号NXE3400/3600写成了NXT3400/3600。但是关于国内先进光刻机分布的数据，还是有参考价值的。
另外可参看网页：http://finance.sina.com.cn/cj/2023-09-0 ... 5008.shtml
这篇文章对于很多技术问题都是一带而过，对于overlay的解释更是简单化了
#26 Re: [转载] 国内（2023年）的先进光刻机数量（非存储）
1450殖人轮逼语录系列：
叔的凤凰卫视高层朋友告诉我 只要菊花一晚 就能告诉我秦刚内幕
- 纯属虚构 如有雷同 必为巧合 切勿对号入座
VladPutin是我爹 我以我爹赐名为荣
- 某买买提轮逼精神白人 / 切勿对号入座
洋人有特权，白妞特权还高一些。这要是黄妞，早被当地公安跨省了
中国不敢公布 所以证明中国基尼系数越来越高
- 某轮逼1450反串网友WxxxxMxxxSxxxJxxx
叔的凤凰卫视高层朋友告诉我 只要菊花一晚 就能告诉我秦刚内幕
- 纯属虚构 如有雷同 必为巧合 切勿对号入座
VladPutin是我爹 我以我爹赐名为荣
- 某买买提轮逼精神白人 / 切勿对号入座
洋人有特权，白妞特权还高一些。这要是黄妞，早被当地公安跨省了
中国不敢公布 所以证明中国基尼系数越来越高
- 某轮逼1450反串网友WxxxxMxxxSxxxJxxx
#27 Re: [转载] 国内（2023年）的先进光刻机数量（非存储）
只能说要根据具体曝光的图案和层级决定。
简单line/space的一维层级的工艺现在大多都是自对准（虽然叫多重曝光，其实是通过cvd和蚀刻实现的pitch halfing），对于自对准的层级，overlay 仅取决于首次曝光层级和上一对准层的要求。
还是拿晶体管source 和接触pin, 来举例，如果晶体管门外层绝缘体对于pin 的蚀刻是选择性材料，你的overlay budget 用线宽50%也没问题
简单说就是视情况而定，多重曝光也可以对overlay 的要求很宽松。
最具挑战性的其实是二维层级（routing layer)
BTW, 你引的文中双重曝光的例子误导，真实世界中没有这么作的。 工艺挑战性太大