Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 11:04
这个就是高分子材料嘛,生化环材坑了不少中国理科生,但是人才储备应该是有的none 写了: 2023年 9月 15日 10:59 唐传祥可能不太了解光刻胶,简单化了。
这玩意不是说你加大紫外线功率就能对没那么敏感的光刻胶产生同样的效果的。
resolution和对比度/陡度这些参数,紫外线能量高了会导致降低,
没那么容易调的。
这一块没有高深没人懂的理论,就是个工程问题,有市场,有钱,有时间,有人才,很快会出来的