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Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:31
none
靠,你是谁。。。
resso 写了: 2023年 9月 15日 22:27 你这个分子可能相分离,尼玛,可能一个相就几个纳米了。此外,我没有看到做嵌段共聚物的合理性。无规共聚不行吗

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:33
resso
none 写了: 2023年 9月 15日 22:31 靠,你是谁。。。
一个火坑狗

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:34
none
并不是所有的嵌段共聚物都会产生相分离的,
尤其是我说的这三个基本单元尼玛都是类似的。
嵌段是为了好精准控制,无他。
superdsb 写了: 2023年 9月 15日 22:29 确实看不出嵌段聚合物的合理性

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:36
resso
none 写了: 2023年 9月 15日 22:34 并不是所有的嵌段共聚物都会产生相分离的,
尤其是我说的这三个基本单元尼玛都是类似的。
嵌段是为了好精准控制,无他。
尼玛,PMAA极性那么大,PMMA和PBMA相对极性小很多,相分离的可能很大啊。当然你可以把分子量搞小,问题来了,既然要把分子量搞小,为啥不搞无规的呢?

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:40
none
你得去找到日本专利看看,相分离这个事绝对是解决了的。
对了TP Russell搞的那些怎么样了?也曾经火过一段。
resso 写了: 2023年 9月 15日 22:36 尼玛,PMAA极性那么大,PMMA和PBMA相对极性小很多,相分离的可能很大啊。当然你可以把分子量搞小,问题来了,既然要把分子量搞小,为啥不搞无规的呢?

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:43
resso
none 写了: 2023年 9月 15日 22:40 你得去找到日本专利看看,相分离这个事绝对是解决了的。
对了TP Russell搞的那些怎么样了?也曾经火过一段。
lol,我不是搞这行的,再说我离开火坑有些年了,lol

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:56
Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 22:20 也不是PMMA,是三嵌段共聚物。
甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸丁酯(TBMA)和甲基丙烯酸(MAA)三元共聚物,
其中甲基丙烯酸丁酯起到了光致产酸剂的作用。
这个玩意考验精准控制,用阴离子聚合做的。
教授对/193resist 理解是基于80年代的知识
真正193 resist 是金刚烷acrylate 和GBL meth acrylate oligomer 通过精确控制达到几乎alternative 阻止相分离出来 通过raft 来达到低分子量。 只有dupont 能生产合格丽polymer
不过只要解决金刚烷单体 老中堆人力应该不是难事

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 22:59
none
九十年代的。 :lol:
matrice同学你查一下信箱。
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 22:56 教授对/193resist 理解是基于80年代的知识
真正193 resist 是金刚烷acrylate 和GBL meth acrylate oligomer 通过精确控制达到几乎alternative 阻止相分离出来 通过raft 来达到低分子量。 只有dupont 能生产合格丽polymer
不过只要解决金刚烷单体 老中堆人力应该不是难事

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:03
superdsb
你说金刚烷
码农都以为是大力金刚丸


Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 22:56 教授对/193resist 理解是基于80年代的知识
真正193 resist 是金刚烷acrylate 和GBL meth acrylate oligomer 通过精确控制达到几乎alternative 阻止相分离出来 通过raft 来达到低分子量。 只有dupont 能生产合格丽polymer
不过只要解决金刚烷单体 老中堆人力应该不是难事

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:07
Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 22:40 你得去找到日本专利看看,相分离这个事绝对是解决了的。
对了TP Russell搞的那些怎么样了?也曾经火过一段。
to和hawker 那东西纯粹是搞笑的 但工业界还真的seriously 试了一阵子

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:08
Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 22:59 九十年代的。 :lol:
matrice同学你查一下信箱。
八十年代开始做的第一代。我博士老板论文就是干这

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:13
resso
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:07 to和hawker 那东西纯粹是搞笑的 但工业界还真的seriously 试了一阵子
他那啥玩意

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:14
none
腹泻允许他们俩搞笑? :lol:
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:07 to和hawker 那东西纯粹是搞笑的 但工业界还真的seriously 试了一阵子

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:21
Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 23:14 腹泻允许他们俩搞笑? :lol:
hawker 是法国佬的接班人
ibm intel 台基电都试过
效果其实挺好就是线要拐弯就傻👀

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:24
none
加拿大法语区的。
至少也是光刻胶大佬,居然对他们做了这么久的事情没有判断么?
当年我就觉得不靠谱呀。
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:21 hawker 是法国佬的接班人
ibm intel 台基电都试过
效果其实挺好就是线要拐弯就傻👀

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:27
Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 23:24 加拿大法语区的。
至少也是光刻胶大佬,居然对他们做了这么久的事情没有判断么?
当年我就觉得不靠谱呀。
你觉得不靠谱没用
大头相信。你就得干傻事 还得显positive
我老人家最后现在无法忍受吃这屎.在谢老师入行光刻的时候跑离这行业

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:32
resso
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:27 你觉得不靠谱没用
大头相信。你就得干傻事 还得显positive
我老人家最后现在无法忍受吃这屎.在谢老师入行光刻的时候跑离这行业
哈哈哈哈,那你现在搞毛?

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 15日 23:35
Linjiaojiao
半导体某个极偏门领域的只有几个人懂。很好奇华为是怎么解决这个问题

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为

发表于 : 2023年 9月 16日 13:20
octane
none 写了: 2023年 9月 15日 00:03 我是消息太灵通了。
我不说话。 :lol:
你还好,我都不敢说话