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Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:31
由 none
靠,你是谁。。。
resso 写了: 2023年 9月 15日 22:27
你这个分子可能相分离,尼玛,可能一个相就几个纳米了。此外,我没有看到做嵌段共聚物的合理性。无规共聚不行吗
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:33
由 resso
none 写了: 2023年 9月 15日 22:31
靠,你是谁。。。
一个火坑狗
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:34
由 none
并不是所有的嵌段共聚物都会产生相分离的,
尤其是我说的这三个基本单元尼玛都是类似的。
嵌段是为了好精准控制,无他。
superdsb 写了: 2023年 9月 15日 22:29
确实看不出嵌段聚合物的合理性
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:36
由 resso
none 写了: 2023年 9月 15日 22:34
并不是所有的嵌段共聚物都会产生相分离的,
尤其是我说的这三个基本单元尼玛都是类似的。
嵌段是为了好精准控制,无他。
尼玛,PMAA极性那么大,PMMA和PBMA相对极性小很多,相分离的可能很大啊。当然你可以把分子量搞小,问题来了,既然要把分子量搞小,为啥不搞无规的呢?
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:40
由 none
你得去找到日本专利看看,相分离这个事绝对是解决了的。
对了TP Russell搞的那些怎么样了?也曾经火过一段。
resso 写了: 2023年 9月 15日 22:36
尼玛,PMAA极性那么大,PMMA和PBMA相对极性小很多,相分离的可能很大啊。当然你可以把分子量搞小,问题来了,既然要把分子量搞小,为啥不搞无规的呢?
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:43
由 resso
none 写了: 2023年 9月 15日 22:40
你得去找到日本专利看看,相分离这个事绝对是解决了的。
对了TP Russell搞的那些怎么样了?也曾经火过一段。
lol,我不是搞这行的,再说我离开火坑有些年了,lol
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:56
由 Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 22:20
也不是PMMA,是三嵌段共聚物。
甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸丁酯(TBMA)和甲基丙烯酸(MAA)三元共聚物,
其中甲基丙烯酸丁酯起到了光致产酸剂的作用。
这个玩意考验精准控制,用阴离子聚合做的。
教授对/193resist 理解是基于80年代的知识
真正193 resist 是金刚烷acrylate 和GBL meth acrylate oligomer 通过精确控制达到几乎alternative 阻止相分离出来 通过raft 来达到低分子量。 只有dupont 能生产合格丽polymer
不过只要解决金刚烷单体 老中堆人力应该不是难事
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 22:59
由 none
九十年代的。
matrice同学你查一下信箱。
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 22:56
教授对/193resist 理解是基于80年代的知识
真正193 resist 是金刚烷acrylate 和GBL meth acrylate oligomer 通过精确控制达到几乎alternative 阻止相分离出来 通过raft 来达到低分子量。 只有dupont 能生产合格丽polymer
不过只要解决金刚烷单体 老中堆人力应该不是难事
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:03
由 superdsb
你说金刚烷
码农都以为是大力金刚丸
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 22:56
教授对/193resist 理解是基于80年代的知识
真正193 resist 是金刚烷acrylate 和GBL meth acrylate oligomer 通过精确控制达到几乎alternative 阻止相分离出来 通过raft 来达到低分子量。 只有dupont 能生产合格丽polymer
不过只要解决金刚烷单体 老中堆人力应该不是难事
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:07
由 Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 22:40
你得去找到日本专利看看,相分离这个事绝对是解决了的。
对了TP Russell搞的那些怎么样了?也曾经火过一段。
to和hawker 那东西纯粹是搞笑的 但工业界还真的seriously 试了一阵子
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:08
由 Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 22:59
九十年代的。
matrice同学你查一下信箱。
八十年代开始做的第一代。我博士老板论文就是干这
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:13
由 resso
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:07
to和hawker 那东西纯粹是搞笑的 但工业界还真的seriously 试了一阵子
他那啥玩意
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:14
由 none
腹泻允许他们俩搞笑?
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:07
to和hawker 那东西纯粹是搞笑的 但工业界还真的seriously 试了一阵子
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:21
由 Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 23:14
腹泻允许他们俩搞笑?
hawker 是法国佬的接班人
ibm intel 台基电都试过
效果其实挺好就是线要拐弯就傻

Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:24
由 none
加拿大法语区的。
至少也是光刻胶大佬,居然对他们做了这么久的事情没有判断么?
当年我就觉得不靠谱呀。
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:21
hawker 是法国佬的接班人
ibm intel 台基电都试过
效果其实挺好就是线要拐弯就傻
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:27
由 Linjiaojiao
none 写了: 2023年 9月 15日 23:24
加拿大法语区的。
至少也是光刻胶大佬,居然对他们做了这么久的事情没有判断么?
当年我就觉得不靠谱呀。
你觉得不靠谱没用
大头相信。你就得干傻事 还得显positive
我老人家最后现在无法忍受吃这屎.在谢老师入行光刻的时候跑离这行业
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:32
由 resso
Linjiaojiao 写了: 2023年 9月 15日 23:27
你觉得不靠谱没用
大头相信。你就得干傻事 还得显positive
我老人家最后现在无法忍受吃这屎.在谢老师入行光刻的时候跑离这行业
哈哈哈哈,那你现在搞毛?
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 15日 23:35
由 Linjiaojiao
半导体某个极偏门领域的只有几个人懂。很好奇华为是怎么解决这个问题
Re: 我对国内EUV表示谨慎怀疑,因为
发表于 : 2023年 9月 16日 13:20
由 octane
none 写了: 2023年 9月 15日 00:03
我是消息太灵通了。
我不说话。
你还好,我都不敢说话