EUV光刻机迎来国产新时代，哈工大极紫外光源立大功！

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https://www.sohu.com/a/845762854_121327251

近日，哈尔滨工业大学（简称“哈工大”）传来振奋人心的消息，该校成功研发出13.5nm极紫外光源，为EUV光刻机的制造迎来了曙光。

[wanmeishijie]

耗子不回国，包叔能造出光刻机？

[Ifloating]

你说 不制裁航天7子怎么行

[konichiwa]

难怪谢勇暴跳如雷

[hhcare]

这个啥信息都没有啊。

国内应该早就可以发出，euv了

[verdelite]

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近日，哈尔滨工业大学（简称“哈工大”）传来振奋人心的消息，该校成功研发出13.5nm极紫外光源，为EUV光刻机的制造迎来了曙光。

这个我指出过了，就是对锡液池的电弧放电，西方试验过，不如激光打靶，被废弃了。原因是锡液蒸汽和液滴污染大，不好控制。不是说环境污染，是对反光镜的污染。激光打靶锡液量小，污染容易控制。

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公开信息显示，哈尔滨工业大学负责的DPP-EUV光源已经达到实用化的120W的水平，这相当不容易。虽然DPP整体方案看似比LPP简单得多，但当年Cymer无法提升功率只好放弃DPP转向LPP。2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研了EUV光源，相信这是结合哈工大DPP EUV光源和长春光机所的高精度弧形反射镜系统的EUV光源工程样机。DPP方案可以避开当前LLP-EUV的专利壁垒，同时与未来的加速器光源方案有一定的继承性。

https://zhuanlan.zhihu.com/p/659553939

[hhcare]

公开信息显示，哈尔滨工业大学负责的DPP-EUV光源已经达到实用化的120W的水平，这相当不容易。虽然DPP整体方案看似比LPP简单得多，但当年Cymer无法提升功率只好放弃DPP转向LPP。2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研了EUV光源，相信这是结合哈工大DPP EUV光源和长春光机所的高精度弧形反射镜系统的EUV光源工程样机。DPP方案可以避开当前LLP-EUV的专利壁垒，同时与未来的加速器光源方案有一定的继承性。

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专利？

感觉骗人的成分很大啊

[VladPutin]

专利？

感觉骗人的成分很大啊

诈骗最多的都是屁大的卢瑟。书审的文章但凡来自屁大的几乎都可以在半个小时内找到致命伤直接拒稿。

[verdelite]

专利？

感觉骗人的成分很大啊

提规避专利显然就是骗人的。