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2024年1月测量标准差为0.17nm的真空微运动台交付，3到5纳米节点制程的标准
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2024.1.20 交付测试：专用真空激光干涉仪
第三方现场测试，真空控温环境(0.1Pa，±0.1℃)下，测量标准差0.17nm/1h。
2023.12.20 测试：准静态真空激光干涉仪V2.0
联合测试，真空控温环境(10Pa，±0.1℃)下，测量噪声10pm(原始值)/1pm(1s滤波)，周期非线性2pm，稳定性3nm/12h
