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#1 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 05:38
由 konichiwa
Asml 光刻机通过十几面透镜
造成能量大量损失
中国通过数学方法直接修改镜面形状,减少透镜数量
利用低功率光源实现相同效果。
23分
这就解释了弃婴大师几年前指出的光源功率才是中国最大短板
看我之前的帖子,为什么透镜数目这么多
[url=[url=[url=viewtopic.php?t=710320&hilit=%E5%85%89% ... B%E6%A9%9F
谢勇彻底完蛋了
中国通过数学方法绕开了最大障碍]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]
#2 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 05:49
由 yugong
#3 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 06:06
由 piyandaomo
#4 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 06:13
由 民主自由是婊子的遮羞布
#5 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 06:21
由 2379897044
看清楚了,我只教一次,中国光刻机用的是温天仁的八门通光镜。

#6 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 06:37
由 foofy
#7 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 09:44
由 Linjiaojiao
正确方法是把mask设计为弯的 经过相差变成正的 歪打正着
除了几个缩小的镜子外 哈都不用 最省功率
#8 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 09:47
由 007航母
通过数学方法改变形状
是啥球意思
数学气功?
konichiwa 写了: 2025年 10月 14日 05:38
Asml 光刻机通过十几面透镜
造成能量大量损失
中国通过数学方法直接修改镜面形状,减少透镜数量
利用低功率光源实现相同效果。
23分
这就解释了弃婴大师几年前指出的光源功率才是中国最大短板
看我之前的帖子,为什么透镜数目这么多
[url=[url=[url=[url=viewtopic.php?t=710320&hilit=%E5%85%89% ... B%E6%A9%9F
谢勇彻底完蛋了
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]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]
#9 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 10:07
由 konichiwa
功率不够
关键在于反射系数太多
只要减少透镜数量就能降低光源功率需要
foofy 写了: 2025年 10月 14日 06:37
说个不靠谱的。固态激光器
#10 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 10:10
由 fanqie
#11 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 10:29
由 DollarMore
007航母 写了: 2025年 10月 14日 09:47
通过数学方法改变形状
是啥球意思
数学气功?
]站内帖子:EUV光刻机为什么要把光线反射十四次?[/url]
非球面镜。
没想到 西方人这么蠢,所谓的高科技 都是拿老技术对付,用一天是一天
#12 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 10:31
由 fanqie
DollarMore 写了: 2025年 10月 14日 10:29
非球面镜。
没想到 西方人这么蠢,所谓的高科技 都是拿老技术对付,用一天是一天
聪明的人现在还有几个干工科的?
#13 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 10:47
由 007航母
非球面镜
原来是你鳖用数学气功发明的
你憋牛叉
DollarMore 写了: 2025年 10月 14日 10:29
非球面镜。
没想到 西方人这么蠢,所谓的高科技 都是拿老技术对付,用一天是一天
#14 Re: 中国光刻机突破的原因揭晓了!
发表于 : 2025年 10月 14日 10:55
由 弃婴千枝
foofy 写了: 2025年 10月 14日 06:37
说个不靠谱的。固态激光器
固态物质受限于能带结构,一般只能产生几个电子伏特能量的光子
比如半导体激光器最多也就5个eV的光子
高能光子要么是气体激光(比如excimer,十几个eV),
或者加速器驱动的自由电子激光器(可以高到MeV)